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1. (WO2014002609) DISPOSITIF DE SUPERPOSITION ET PROCÉDÉ DE SUPERPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/002609    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/062572
Date de publication : 03.01.2014 Date de dépôt international : 30.04.2013
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. [JP/JP]; 150, Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2110012 (JP)
Inventeurs : KATSURAGAWA, Junichi; (JP).
KOBARI, Satoshi; (JP)
Mandataire : HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-142389 25.06.2012 JP
Titre (EN) OVERLAPPING DEVICE, AND OVERLAPPING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SUPERPOSITION ET PROCÉDÉ DE SUPERPOSITION
(JA) 重ね合わせ装置および重ね合わせ方法
Abrégé : front page image
(EN)This overlapping device is configured such that the center positions of a substrate and a support body held by a center position detection unit (3) are detected, the substrate and the support body are transported to an overlapping unit (6) from the center position detection unit (3), and the substrate and support body are overlapped in the overlapping unit (6) so that the detected center positions of the substrate and the support body overlap.
(FR)Le présent dispositif de superposition est conçu de sorte que les positions des centres d'un substrat et d'un corps de support maintenus par une unité de détection de position de centre (3) soient détectées, le substrat et le corps de support sont transportés vers une unité de superposition (6) depuis l'unité de détection de position de centre (3), et le substrat et le corps de support sont superposés dans l'unité de superposition (6) de sorte que les positions des centres détectées du substrat et du corps de support soient superposées.
(JA)本発明に係る重ね合わせ装置は、中心位置検出部(3)に保持された基板および支持体の中心位置を検出し、基板および支持体を中心位置検出部(3)から重ね合わせ部(6)に搬送してから、重ね合わせ部(6)において、検出した基板および支持体の中心位置が重なるように基板および支持体を重ね合わせるようになっている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)