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1. (WO2014001631) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE D'UN SUBSTRAT ET TÊTE DE BUSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/001631    N° de la demande internationale :    PCT/FI2013/050691
Date de publication : 03.01.2014 Date de dépôt international : 24.06.2013
CIB :
C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : BENEQ OY [FI/FI]; Olarinluoma 9 FI-02200 Espoo (FI)
Inventeurs : ENHOLM, Robin; (FI).
KETO, Leif; (FI).
SOININEN, Pekka; (FI)
Mandataire : KOLSTER OY AB; (Iso Roobertinkatu 23) P.O. Box 148 FI-00121 Helsinki (FI)
Données relatives à la priorité :
20125705 25.06.2012 FI
Titre (EN) APPARATUS FOR PROCESSING SURFACE OF SUBSTRATE AND NOZZLE HEAD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE D'UN SUBSTRAT ET TÊTE DE BUSE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an apparatus and nozzle head for processing a surface of a substrate (20). The apparatus comprises a substrate support mechanism (2, 4, 12, 16) for supporting the substrate (20) on a substrate support plane (4) in a process zone (50), a nozzle head (6, 7) for subjecting the surface of the substrate (20) to successive surface reactions of at least a first precursor (A) and a second precursor (B) and a nozzle head support mechanism (8, 11, 24, 26, 28, 29, 30, 32, 34) for supporting the nozzle head (6, 7) at a predetermined distance (3) from the substrate support plane (4). The nozzle head support mechanism (8, 10, 11, 24, 26, 28, 29, 30, 32, 34) comprises a nozzle head support surface (24, 25, 37) and, that the nozzle head (6, 7) is supported to the nozzle head support surface (24, 25, 37).
(FR)L'invention concerne un appareil et une tête de buse destinés à traiter la surface d'un substrat (20). L'appareil comprend un mécanisme de support de substrat (2, 4, 12, 16) destiné à porter le substrat (20) sur un plan de support de substrat (4) dans une zone de traitement (50), une tête de buse (6, 7) destinée à soumettre la surface du substrat (20) aux réactions superficielles successives d'au moins un premier précurseur (A) et d'un second précurseur (B) et un mécanisme de support de tête de buse (8, 11, 24, 26, 28, 29, 30, 32, 34) destiné à porter la tête de buse (6, 7) à une distance prédéterminée (3) du plan de support de substrat (4). Le mécanisme de support de tête de buse (8, 10, 11, 24, 26, 28, 29, 30, 32, 34) comprend une surface de support de tête de buse (24, 25, 37) et la tête de buse (6, 7) est portée sur la surface de support de tête de buse (24, 25, 37).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)