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1. (WO2014001071) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/001071    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/061941
Date de publication : 03.01.2014 Date de dépôt international : 11.06.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01J 1/02 (2006.01), G01J 1/42 (2006.01), G01J 5/10 (2006.01), G02B 5/18 (2006.01), G02B 27/44 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : KLEEMANS, Niek; (NL).
VAN ASTEN, Nicolaas; (NL).
KOLESNYCHENKO, Aleksey; (NL).
VAN AERLE, Nick; (NL).
BAAS, Gerardus; (NL).
EURLINGS, Markus; (NL).
BEIJSENS, Rolf; (NL)
Mandataire : VERHOEVEN, Johannes; ASML Netherlands B.V. P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/664,440 26.06.2012 US
61/698,869 10.09.2012 US
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A collector module (SO) is disclosed comprising: a collector (14) for collecting radiation generated by a radiation generating plasma (10), and for directing at least a portion of the generated radiation to a focal point (16); a structure (30) upstream of the focal point and extending at least partially around an expected position of a beam comprising the at least a portion of the collected radiation (B); a diffractive element being arranged to diffract infrared radiation that is reflected from the plasma formation location. When the plasma formation location is at an intended location, m = +1 diffracted infrared radiation (32) is directed towards a first region of the structure. At m = -1 diffracted infrared radiation is directed towards a second region of the structure. Also disclosed is an infra-red detector with increased dynamic range obtained by providing a screen for forming an image of a hotspot and a camera directed on to the screen. The dynamic range of the detector is improved either by heating the screen such that a low intensity hotspot is raised above a camera threshold, or by dividing the image into multiple images of differing intensities.
(FR)L'invention concerne un module collecteur comprenant : un collecteur permettant de recueillir des rayonnements produits par un plasma produisant des rayonnements, et d'orienter au moins une partie des rayonnements produits ; une structure en amont du foyer s'étendant au moins en partie autour d'une position escomptée d'un faisceau comprenant ladite partie des rayonnements recueillis ; un élément diffracteur étant agencé pour diffracter les rayonnements infrarouges qui sont réfléchis de l'emplacement de formation de plasma. Lorsque l'emplacement de formation de plasma est à un emplacement prévu, m = +1, les rayonnements infrarouges diffractés sont orientés vers une première région de la structure. A m = -1, les rayonnements infrarouges diffractés sont orientés vers une deuxième région de la structure. L'invention concerne aussi un détecteur infrarouge avec une gamme dynamique augmentée obtenu en fournissant un écran permettant de former une image d'un point chaud et une caméra pointée vers l'écran. La gamme dynamique du détecteur est améliorée soit en chauffant l'écran de façon qu'un point chaud de faible intensité soit intensifié au-dessus du seuil de la caméra, soit en divisant l'image en plusieurs images d'intensités différentes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)