WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2014000763) PROCÉDÉ DE CONCEPTION D'UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, ET OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/000763    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/062254
Date de publication : 03.01.2014 Date de dépôt international : 25.06.2012
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
PATRA, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : PATRA, Michael; (DE)
Mandataire : RAU, SCHNECK & HÜBNER; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD FOR DESIGNING AN ILLUMINATION OPTICS AND ILLUMINATION OPTICS
(FR) PROCÉDÉ DE CONCEPTION D'UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, ET OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE
Abrégé : front page image
(EN)Method for designing an allocation of pupil facets (11) to field facets (7) of an illumination optics (23) for an EUV-projection exposure system (1) taking into account variations of the corresponding intensity distribution in an imaging pupil at different length scales.
(FR)L'invention concerne un procédé de conception d'une optique d'éclairage (23) comprenant l'attribution de facettes de pupilles (11) à des facettes de champ (7) pour un système d'exposition par projection EUV (1) prenant en compte des variations de la distribution d'intensité correspondante dans une pupille d'imagerie à différentes échelles de longueur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)