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1. (WO2013191539) APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT D'INSPECTER LA SURFACE D'UN ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/191539    N° de la demande internationale :    PCT/NL2013/050416
Date de publication : 27.12.2013 Date de dépôt international : 12.06.2013
CIB :
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Stevinweg 1 NL-2628 CN Delft (NL)
Inventeurs : KRUIT, Pieter; (NL).
GHEIDARI, Ali Mohammadi; (NL).
REN, Yan; (NL)
Mandataire : PETERS, Sebastian Martinus; Octrooibureau Vriesendorp & Gaade B.V. Koninginnegracht 19 NL-2514 AB The Hague (NL)
Données relatives à la priorité :
2009053 22.06.2012 NL
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A SURFACE OF A SAMPLE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT D'INSPECTER LA SURFACE D'UN ÉCHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an apparatus for inspecting a surface of a sample, wherein the apparatus comprises : at least one charged particle source for generating an array of primary charged particle beams, a condenser lens for directing all charged particle beams to a common cross-over, a lens system for directing the primary charged particle beams from the common cross-over towards the sample surface and for focusing all primary charged particle beams into an array of individual spots on the sample surface, and a position sensitive secondary electron detector positioned at least substantially in or near a plane comprising said common cross-over.
(FR)L'invention concerne un appareil permettant d'inspecter une surface d'un échantillon, l'appareil comprenant : au moins une source de particules chargées permettant de générer une matrice de faisceaux de particules chargées primaires, une lentille de condenseur permettant de diriger tous les faisceaux de particules chargées vers un répartiteur commun, un système de lentilles permettant de diriger les faisceaux de particules chargées primaires depuis le répartiteur commun vers la surface de l'échantillon et de concentrer tous les faisceaux de particules chargées primaires dans une matrice de points individuels sur la surface de l'échantillon, et un détecteur d'électrons secondaire sensible à la position positionné au moins sensiblement dans ou près d'un plan comprenant ledit répartiteur commun.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)