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1. (WO2013191430) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE UTILISANT DES IONS PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/191430    N° de la demande internationale :    PCT/KR2013/005342
Date de publication : 27.12.2013 Date de dépôt international : 18.06.2013
CIB :
B08B 7/00 (2006.01), B08B 6/00 (2006.01)
Déposants : DAWONSYS CO., LTD. [KR/KR]; 705 3-Na Sihwa Industrial Complex 1277-4 Jungwang-dong Siheung-si Gyeonggi-do 429-850 (KR)
Inventeurs : PARK, Sun Soon; (KR).
LEE, Hae Ryong; (KR).
CHOI, Yong Nam; (KR)
Mandataire : DYNE PATENT & LAW FIRM; #705 7th floor Jelzone Tower1 17-1 Jeongja-dong Bundang-gu Seongnam-si Gyeonggi-do 463-847 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2012-0066154 20.06.2012 KR
10-2012-0066156 20.06.2012 KR
10-2012-0066157 20.06.2012 KR
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING USING PLASMA IONS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE UTILISANT DES IONS PLASMA
(KO) 플라스마 이온을 이용한 세정 장치 및 세정 방법
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a method and an apparatus for effectively cleaning the surface of an object to be cleaned by means of ions in a plasma state. A apparatus for cleaning by means of plasma ions according to the present invention comprises a plasma generator and a means for creating a magnetic field. The plasma generator generates and discharges, towards the object, ions in a plasma state for cleaning the surface of the object to be cleaned, and thus is provided with an outlet for discharging the ions in a plasma state. The means for creating a magnetic field separates the ions in a plasma state, discharged from the outlet of the plasma generator, into positive and negative ions, and induces same to collide on the surface of the target, and thus is configured in front of the outlet of the plasma generator so as to create a magnetic field in the orthogonal direction with respect to the direction of movement of the ions.
(FR)La présente invention a trait à un procédé et à un appareil permettant de nettoyer de façon efficace la surface d'un objet devant être nettoyé au moyen d'ions dans un étant plasma. Un appareil de nettoyage au moyen d'ions plasma selon la présente invention comprend un générateur de plasma et un moyen permettant de créer un champ magnétique. Le générateur de plasma génère et décharge, vers l'objet, des ions dans un état plasma afin de nettoyer la surface de l'objet devant être nettoyé et, par conséquent, est doté d'un orifice de sortie permettant de décharger les ions dans un état plasma. Le moyen permettant de créer un champ magnétique sépare les ions dans un état plasma, déchargés à partir de l'orifice de sortie du générateur de plasma, en ions positifs et en ions négatifs, et fait en sorte que ces derniers entrent en collision avec la surface de la cible et, par conséquent, est configuré devant l'orifice de sortie du générateur de plasma de manière à créer un champ magnétique dans la direction orthogonale par rapport à la direction de déplacement des ions.
(KO)본 발명은 세정 대상물의 표면을 플라스마 상태의 이온을 이용하여 효과적으로 세정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 플라스마 이온을 이용한 세정 장치는 플라스마 발생기와 자기장 형성수단을 포함한다. 플라스마 발생기는 대상물의 표면을 세정하기 위한 플라스마 상태의 이온을 발생시키고 대상물을 향해서 배출하기 위한 것으로서, 플라스마 상태의 이온이 배출되기 위한 출구를 구비한다. 자기장 형성수단은 상기 플라스마 발생기의 출구로부터 배출된 플라스마 상태의 이온을 양이온과 음이온으로 분리시켜 대상물의 표면에 충돌시키기 위한 것으로서 상기 플라스마 발생기의 출구 전방에 이온의 진행 방향에 대하여 수직인 방향으로 자기장을 형성하도록 설치된다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)