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1. (WO2013190987) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À HAUTE FRÉQUENCE ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION BASÉ SUR LA PUISSANCE D'ONDES RÉFLÉCHIES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/190987    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/065339
Date de publication : 27.12.2013 Date de dépôt international : 03.06.2013
CIB :
H05H 1/46 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01)
Déposants : KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 29-1, Heiancho 2-chome, Tsurumi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2300031 (JP) (Tous Sauf US).
YUZURIHARA, Itsuo [JP/JP]; (JP) (US only).
AIKAWA, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US only).
KUNITAMA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventeurs : YUZURIHARA, Itsuo; (JP).
AIKAWA, Satoshi; (JP).
KUNITAMA, Hiroshi; (JP)
Mandataire : SHIONOIRI, Akio; Fujisawa-Central Bldg. 6F, 1-4, Kugenuma-Tachibana 1-chome, Fujisawa-shi, Kanagawa 2510024 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-136942 18.06.2012 JP
Titre (EN) HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE AND REFLECTED WAVE POWER CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À HAUTE FRÉQUENCE ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION BASÉ SUR LA PUISSANCE D'ONDES RÉFLÉCHIES
(JA) 高周波電力供給装置、及び反射波電力制御方法
Abrégé : front page image
(EN)According to the present invention, during high-frequency power supply for supplying high-frequency power to a plasma load, reflected wave power control detects reflected wave power of a high-frequency power source and uses the detected reflected wave power to control the high-frequency power source. With short-term fluctuations in the reflected wave power, the control is based on a peak value fluctuation of the detected value of the reflected wave power, and with long-term fluctuations of the reflected wave power, the control is based on a smoothed value fluctuation obtained by smoothing the detected value of the reflected wave power. A reflected wave power peak value suspended loop system and an arc interruption system, for performing control based on the peak fluctuation in the reflected wave power, and a reflected wave power amount suspended loop system for performing control based on the smoothed power amount of the reflected wave power, are included as reflected wave power control loop systems. In an unignited state until the plasma ignites, the high-frequency power source performs fully reflected wave adaptation that can withstand fully reflected wave power in which traveling wave power returns toward the power source entirely as reflected wave power.
(FR)La présente invention est caractérisée en ce que, pendant une alimentation électrique à haute fréquence servant à fournir une puissance à haute fréquence à une charge à plasma, une régulation basée sur la puissance des ondes réfléchies détecte une puissance d'ondes réfléchies d'une source de puissance à haute fréquence et utilise la puissance détectée des ondes réfléchies pour réguler la source de puissance à haute fréquence. En présence de fluctuations à court terme de la puissance des ondes réfléchies, la régulation est basée sur une fluctuation de valeur de crête de la valeur détectée de la puissance des ondes réfléchies et, en présence de fluctuations à long terme de la puissance des ondes réfléchies, la régulation est basée sur une fluctuation de valeur lissée obtenue en lissant la valeur détectée de la puissance des ondes réfléchies. Un système en boucle suspendue à valeur de crête de la puissance d'ondes réfléchies et un système d'interruption d'arc, servant à réaliser une régulation basée sur la fluctuation de crête de la puissance des ondes réfléchies, et un système en boucle suspendue à quantité de puissance d'ondes réfléchies servant à réaliser une régulation basée sur la quantité de puissance lissée de la puissance des ondes réfléchies, sont incorporés en tant que systèmes en boucle de régulation basée sur la puissance des ondes réfléchies. Dans un état non allumé jusqu'à l'allumage du plasma, la source de puissance à haute fréquence effectue une adaptation à ondes totalement réfléchies qui peut résister à une puissance d'ondes totalement réfléchies caractérisée en ce que la puissance d'ondes progressives revient entièrement vers la source de puissance sous forme de puissance d'ondes réfléchies.
(JA)プラズマ負荷に高周波電力を供給する高周波電力供給において、高周波電源の反射波電力を検出し、検出した反射波電力を用いて高周波電源を制御する反射波電力制御であり、反射波電力の短時間変動に対して反射波電力の検出値のピーク値変動に基づいて制御し、反射波電力の長時間変動に対して反射波電力の検出値を平滑して得られる平滑値の変動に基づいて制御する。反射波電力制御ループ系として、反射波電力のピーク変動に基づいて制御を行う反射波電力ピーク量垂下ループ系およびアーク遮断系と、反射波電力の電力平滑量に基づいて制御を行う反射波電力量垂下ループ系とを備える。高周波電源はプラズマが着火するまでの未着火状態において、進行波電力が全て反射波電力として電源側に戻る全反射波電力に対して耐え得る全反射波対応化を行う。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)