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1. (WO2013190837) MÉTHODE D'INSPECTION D'APPAREIL DE REJET DE SOLUTION ET MÉTHODE DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/190837    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/003822
Date de publication : 27.12.2013 Date de dépôt international : 19.06.2013
CIB :
B05D 1/26 (2006.01), B05C 5/00 (2006.01), B05D 3/00 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01), B05C 11/00 (2006.01)
Déposants : PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP)
Inventeurs : MIYOSHI, Takayuki;
Mandataire : NAKAJIMA, Shiro; 6F, Yodogawa 5-Bankan, 2-1, Toyosaki 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5310072 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-138739 20.06.2012 JP
Titre (EN) METHOD FOR INSPECTING SOLUTION DISCHARGE APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE
(FR) MÉTHODE D'INSPECTION D'APPAREIL DE REJET DE SOLUTION ET MÉTHODE DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
(JA) 溶液吐出装置の検査方法およびデバイスの製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A method for inspecting a solution discharge apparatus comprises a discharge step, an image-capture step, a reading step, and a distinguishing step in which a main drop is distinguished from within adhered material for which the adhesion surface area is deemed to be within the range of an adhesion surface area standard for each image-capture region. The upper limit value and lower limit value of the adhesion surface area standard are set in accordance with the image-capture timing in the image-capture step, and the value for each item of adhered material within an image-capture region which is captured at a second timing shorter than a first timing is smaller than the value for each item of adhered material within an image-capture region which is captured at the first timing.
(FR)Selon l'invention, une méthode d'inspection d'un appareil de rejet de solution comprend une étape de rejet, une étape de capture d'image, une étape de lecture, et une étape de distinction dans laquelle une goutte principale est distinguée d'un matériau adhéré pour lequel l'aire de surface d'adhésion est considérée comme à l'intérieur de la plage d'une norme d'aire de surface d'adhésion pour chaque région de capture d'image. La valeur de limite supérieure et la valeur de limite inférieure de la norme d'aire de surface d'adhésion sont définies conformément à la temporisation de capture d'image dans l'étape de capture d'image, et la valeur pour chaque élément de matériau adhéré dans une région de capture d'image qui est capturée avec une deuxième temporisation plus courte qu'une première temporisation est inférieure à la valeur pour chaque élément de matériau adhéré dans une région de capture d'image qui est capturée avec la première temporisation.
(JA)吐出工程と、撮像工程と、読取工程と、撮像領域毎に付着面積が付着面積規格の範囲内であると判断された付着物の中から主滴を判別する判別工程と、を含む溶液吐出装置の検査方法である。付着面積規格の上限値および下限値のそれぞれは、撮像工程における撮像のタイミングに応じて設定されており、第1のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値よりも、第1のタイミングよりも後の第2のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値の方が小さい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)