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1. (WO2013189716) INSTALLATION DE REVÊTEMENT PAR ALD
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/189716    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/061233
Date de publication : 27.12.2013 Date de dépôt international : 31.05.2013
CIB :
C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : OSRAM OLED GMBH [DE/DE]; Wernerwerkstr. 2 93049 Regensburg (DE)
Inventeurs : POPP, Michael; (DE).
PHILIPPENS, Marc; (DE)
Mandataire : EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH, ZUSAMMENSCHLUSS NR. 175; Schlossschmidstr. 5 80639 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 210 332.5 19.06.2012 DE
Titre (DE) ALD-BESCHICHTUNGSANLAGE
(EN) ALD COATING SYSTEM
(FR) INSTALLATION DE REVÊTEMENT PAR ALD
Abrégé : front page image
(DE)Es wird eine ALD-Beschichtungsanlage angegeben. ALD-Beschichtungsanlage (100) mit - einem Vorratsbehälter (1) für ein metallorganisches Ausgangsmaterial (6), und - einer Vorrichtung (2) umfassend ein Regelungsventil (3), einen Druckmesser (4), eine Druckblende (5) und ein erstes Mehrwegeventil (10), wobei - die Vorrichtung (2) dem Vorratsbehälter (1) nachgeordnet ist, und - das erste Mehrwegeventil (10) zwischen einer Prozesskammer (7) und einer Auffangkammer (8) schaltbar ist.
(EN)An ALD coating system is specified. The ALD coating system (100) has: - a supply container (1) for an organometallic starting material (6) and - a device (2) comprising a regulation valve (3), a pressure gauge (4), a pressure diaphragm (5) and a first multiport valve (10), wherein - the device (2) is arranged downstream of the supply container (1) and - the first multiport valve (10) is connectable between a process chamber (7) and a collecting chamber (8).
(FR)La présente invention concerne une installation de revêtement par dépôt de couches atomiques (ALD). L'invention concerne une installation de revêtement par ALD (100) qui comprend un réservoir (1) pour un matériau de départ organométallique (6) et un dispositif (2) comprenant une vanne de régulation (3), un dispositif de mesure de pression (4), un diaphragme (5) et une première vanne multivoie (10), le dispositif (2) étant agencé en aval du réservoir (1), et la première vanne multivoie (10) étant commutable entre une chambre de traitement (7) et une chambre de collecte (8).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)