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1. (WO2013188602) SYSTÈMES DE BALAYAGE DE SURFACE OPTIQUE ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/188602    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/045528
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 12.06.2013
CIB :
G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/47 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : MALEEV, Ivan; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-Tencor Corp. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
61/659,050 13.06.2012 US
13/916,334 12.06.2013 US
Titre (EN) OPTICAL SURFACE SCANNING SYSTEMS AND METHODS
(FR) SYSTÈMES DE BALAYAGE DE SURFACE OPTIQUE ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)An optical scanning system may include a moving sample positioning stage that supports the sample during an optical measurement of the sample using the light source and the spectrometer. The moving sample positioning stage may move the sample in at least one direction during the optical measurement of the sample. A scatterometer system may include collection imaging optics for imaging the reflected light onto a multi-pixel sensor that collects and analyze the reflected light.
(FR)La présente invention porte sur un système de balayage optique qui peut comprendre un étage de positionnement d'échantillon mobile qui supporte l'échantillon durant une mesure optique de l'échantillon utilisant la source lumineuse et le spectromètre. L'étage de positionnement d'échantillon mobile peut déplacer l'échantillon dans au moins une direction durant la mesure optique de l'échantillon. Un système de diffusiomètre radar peut comprendre des optiques d'imagerie de collecte pour imager la lumière réfléchie sur un capteur multi-pixel qui collecte et analyse la lumière réfléchie.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)