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1. (WO2013188131) SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE (MEMS) ET PROCÉDÉS D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/188131    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/043595
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 31.05.2013
CIB :
B81B 7/00 (2006.01), G01C 19/56 (2012.01), G01P 15/00 (2006.01)
Déposants : PURDUE RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 1281 Win Hentschel Blvd. West Lafayette, IN 47906 (US)
Inventeurs : CLARK, Jason, V.; (US)
Mandataire : WHITE, Christopher, J.; Hiscock & Barclay, LLP 2000 HSBC Plaza 100 Chestnut Street Rochester, NY 14604 (US)
Données relatives à la priorité :
61/659,179 13.06.2012 US
61/723,927 08.11.2012 US
61/724,325 09.11.2012 US
61/724,400 09.11.2012 US
61/724,482 09.11.2012 US
61/659,068 13.06.2012 US
Titre (EN) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM AND METHODS OF USE
(FR) SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE (MEMS) ET PROCÉDÉS D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)Methods of measuring displacement of a movable mass in a microelectro- mechanical system (MEMS) include driving the mass against two displacement-stopping surfaces and measuring corresponding differential capacitances of sensing capacitors such as combs. A MEMS device having displacement-stopping surfaces is described. Such a MEMS device can be used in a method of measuring properties of an atomic force microscope (AFM) having a cantilever and a deflection sensor, or in a temperature sensor having a displacement-sensing unit for sensing a movable mass permitted to vibrate along a displacement axis. A motion-measuring device can include pairs of accelerometers and gyroscopes driven 90° out of phase.
(FR)Selon la présente invention, des procédés de mesure de déplacement d'une masse mobile dans un système microélectromécanique (MEMS) comprennent l'entraînement de la masse contre deux surfaces d'arrêt de déplacement et la mesure de capacités différentielles correspondantes de condensateurs de détection tels que des peignes. La présente invention porte également sur un dispositif MEMS ayant des surfaces d'arrêt de déplacement. Un tel dispositif MEMS peut être utilisé dans un procédé de mesure de propriétés d'un microscope à force atomique (AFM) ayant un porte-à-faux et un capteur de déviation, ou dans un capteur de température ayant une unité de détection de déplacement pour détecter une masse mobile autorisée à vibrer le long d'un axe de déplacement. Un dispositif de mesure de mouvement peut comprendre des paires d'accéléromètres et de gyroscopes entraînés à 90° hors phase.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)