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1. (WO2013188125) DÉTERMINATION DE PROFONDEUR DE FUSION À L'AIDE D'UNE TECHNIQUE INTERFÉROMÉTRIQUE INFRAROUGE DANS UN RECUIT PAR LASER PULSÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/188125    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/043461
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
LI, Jiping [US/US]; (US) (US only)
Inventeurs : LI, Jiping; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046 (US)
Données relatives à la priorité :
61/658,282 11.06.2012 US
Titre (EN) MELT DEPTH DETERMINATION USING INFRARED INTERFEROMETRIC TECHNIQUE IN PULSED LASER ANNEALING
(FR) DÉTERMINATION DE PROFONDEUR DE FUSION À L'AIDE D'UNE TECHNIQUE INTERFÉROMÉTRIQUE INFRAROUGE DANS UN RECUIT PAR LASER PULSÉ
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus for measuring the melt depth of a substrate during pulsed laser melting are provided. The apparatus can include a heat source, a substrate support with an opening formed therein, and an interferometer positioned to direct coherent radiation toward the toward the substrate support. The method can include positioning the substrate with a first surface in a thermal processing chamber, heating a portion of the first surface with a heat source, directing infrared spectrum radiation at a partially reflective mirror creating control radiation and interference radiation, directing the interference radiation to a melted surface and directing the control radiation to a control surface, and measuring the interference between the reflected radiation. The interference fringe pattern can be used to determine the precise melt depth during the melt process.
(FR)La présente invention se rapporte à des procédés et à un appareil permettant de mesurer la profondeur de fusion d'un substrat pendant une fusion par laser pulsé. L'appareil peut comprendre une source de chaleur, un support de substrat ayant une ouverture formée dans ce dernier, et un interféromètre positionné de manière à diriger un rayonnement cohérent vers le support de substrat. Le procédé peut consister à positionner le substrat, une première surface étant agencée dans une chambre de traitement thermique, à chauffer une partie de la première surface avec une source de chaleur, à diriger un rayonnement du spectre infrarouge au niveau d'un miroir partiellement réflecteur qui crée un rayonnement de contrôle et un rayonnement parasite, à diriger le rayonnement parasite vers une surface fondue et à diriger le rayonnement de contrôle vers une surface de contrôle et à mesurer les interférences entre le rayonnement réfléchi. Le motif des franges d'interférences peut être utilisé pour déterminer avec précision la profondeur de fusion pendant le processus de fusion.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)