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1. (WO2013187624) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AYANT UNE FONCTION EMPÊCHANT UNE CASSURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/187624    N° de la demande internationale :    PCT/KR2013/004877
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 03.06.2013
CIB :
H01L 21/203 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : SNU PRECISION CO., LTD. [KR/KR]; (Bongcheon-dong) 576, Bongcheon-ro Gwanak-gu Seoul 152-818 (KR)
Inventeurs : Park, Sang Hyun; (KR).
Lee, Dong Hyun; (KR).
Oh, Hyun Pil; (KR).
Jeon, Kwang Jin; (KR).
Kwon, Jin Haon; (KR).
Park, Sung Jin; (KR)
Mandataire : CHO, Young Hyun; (Daeju Patent & Law Office) 8F, Gyeongmok Bldg. (Seocho-dong), 3, Seoun-ro Seocho-gu, Seoul 137-070 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2012-0063954 14.06.2012 KR
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING BREAKAGE-PREVENTING FUNCTION
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AYANT UNE FONCTION EMPÊCHANT UNE CASSURE
(KO) 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a substrate processing system having a breakage-preventing function. A fluid tank having a breakage-preventing function according to the present invention comprises: a fluid tank capable of storing a fluid; a chamber, which receives the fluid from the fluid tank, for providing a space for processing a substrate; a pipe for connecting the fluid tank with the chamber to enable the fluid to flow therein; and a breakage-preventing unit for enabling a location of the fluid tank to be changed according to thermal expansion generated by the transferring of heat in accordance with the flowage of the fluid in the pipe.
(FR)La présente invention se rapporte à un système de traitement de substrat ayant une fonction empêchant une cassure. Un réservoir de fluide qui possède une fonction empêchant une cassure, selon la présente invention, comprend : un réservoir de fluide qui peut stocker un fluide ; une chambre qui reçoit le fluide du réservoir de fluide, et qui est destinée à offrir un espace pour traiter un substrat ; un tuyau destiné à raccorder le réservoir de fluide à la chambre pour permettre au fluide de circuler à l'intérieur de cette dernière ; et une unité empêchant une cassure destinée à permettre le changement de l'emplacement du réservoir de fluide selon la dilatation thermique générée par le transfert de chaleur selon l'écoulement du fluide dans le tuyau.
(KO)본 발명은 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 파손방지 기능을 구비한 유체탱크는 유체를 저장할 수 있는 유체탱크; 상기 유체탱크로부터 유체를 공급받아 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 유체가 유동 가능하도록 상기 유체탱크와 상기 챔버를 상호 연결하는 파이프; 상기 파이프에서 상기 유체가 유동함에 따라 열을 공급받아 발생하는 열팽창에 대응하여 상기 유체탱크의 위치변경이 가능하도록 하는 파손방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)