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1. (WO2013186058) DISPOSITIF DE TRANSPORT ET DE TRANSFERT POUR SUBSTRATS EN FORME DE DISQUE, INSTALLATION DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT TRAITÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/186058    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/061166
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), B01L 9/00 (2006.01), C23C 14/04 (2006.01)
Déposants : OERLIKON ADVANCED TECHNOLOGIES AG [LI/LI]; Iramali 18 FL-9496 Balzers (LI)
Inventeurs : VOSER, Stephan; (CH).
GAECHTER, Bruno; (CH).
MATTEACCI, Pierre; (CH)
Mandataire : TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; TROESCH, Jacques Schwäntenmos 14 CH-8126 Zumikon (CH)
Données relatives à la priorité :
00832/12 14.06.2012 CH
61/659,545 14.06.2012 US
Titre (EN) TRANSPORT AND HANDING-OVER ARRANGEMENT FOR DISC-SHAPED SUBSTRATES, VACUUM TREATMENT INSTALLATION AND METHOD FOR MANUFACTURE TREATED SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT ET DE TRANSFERT POUR SUBSTRATS EN FORME DE DISQUE, INSTALLATION DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT TRAITÉS
Abrégé : front page image
(EN)A transport and handing-over arrangement for disc shaped substrates, comprising a carrier (3) and a take-over arrangement (15). Both are moveable relative to each other. A relatively heavy substrate carrier (7) of magnetisable material is taken-over from the take-over arrangement (15) by distance control of a permanent magnet (17) at the take-over arrangement (15) or is returned therefrom to a carrier (3). The controlled drive of the permanent magnets (17) in the take-over arrangement (15) is performed by means of pneumatic piston/cylinder arrangements (19).
(FR)L'invention concerne un dispositif de transport et de transfert pour substrats en forme de disque, qui comprend un support (3) et un dispositif de prise en charge (15) pouvant être déplacés l'un par rapport à l'autre. Un support de substrat (7) relativement lourd, fait d'une matière magnétisable, est pris en charge par le dispositif de prise en charge (15), par la commande à distance d'un aimant permanent (17) se situant dans le dispositif de prise en charge (15), ou est ramené depuis celui-ci vers un support (3). L'entraînement commandé des aimants permanents (17) dans le dispositif de prise en charge (15) est mis en oeuvre au moyen de systèmes pneumatiques (19) à piston/vérin.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)