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1. (WO2013185970) PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER LA QUALITÉ DE COUCHES APPLIQUÉES SUR DES SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/185970    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/058686
Date de publication : 19.12.2013 Date de dépôt international : 26.04.2013
CIB :
G01N 21/84 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Inventeurs : VINCON, Martin; (DE).
GROSSE, Stefan; (DE).
REPPHUN, Gernot; (DE).
MAY, Ulrich; (DE).
FRAUNE, Michael; (DE).
ONUSEIT, Leni; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 209 686.8 11.06.2012 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM BESTIMMEN DER QUALITÄT VON AUF SUBSTRATEN AUFGEBRACHTEN SCHICHTEN
(EN) METHOD FOR DETERMINING THE QUALITY OF LAYERS DEPOSITED ON SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ POUR DÉTERMINER LA QUALITÉ DE COUCHES APPLIQUÉES SUR DES SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen der Qualität von auf Substraten (3) aufgebrachten Schichten (4), insbesondere von auf Substraten (3) aufgebrachten Schichten (4) für Verschleißschutz, Korrosionsschutz, Dekoration, Photovoltaik, und/oder Lacken und Laminaten, wobei gepulstes Laserlicht erzeugt wird, mit welchem die Oberfläche der zu untersuchenden Schicht (4) ortsaufgelöst abgetastet wird, und ein von der Schicht (4) reflektiertes Strahlenbündel (6) erfasst wird und hinsichtlich der Intensität und/oder Phase und/oder Polarisation ausgewertet wird, wobei das Laserlicht derart gepulst wird, dass ein jeweils damit bestrahlter Schichtabschnitt (10) zyklisch alternierend erwärmt und zumindest teilweise abgekühlt wird. Dazu wird die Impulsdauer des Laserlichts so gewählt, dass zumindest kurzzeitig eine Temperaturerhöhung in der Schicht (4) bis zur Grenzschicht zwischen der Schicht (4) und dem darunter angeordneten Substrat (3) erfolgt. Der Impulsabstand wird derart eingestellt, dass sich die Schicht in dem jeweils bestrahlten Schichtabschnitt (10) abkühlen kann. Die Emissionswellenlänge des Laserlichts wird so gewählt, dass sich die Schicht zumindest teilweise optisch transparent für das einfallende Laserlicht verhält.
(EN)The invention relates to a method for determining the quality of layers (4) deposited on substrates (3), in particular of layers (4) deposited on substrates (3) for wear protection, corrosion protection, decoration, photovoltaics, and/or paints and laminates, wherein pulsed light is generated, by means of which the surface of the layer to be examined (4) is scanned in a spatially resolved manner, and a beam (6) reflected by the layer (4) is detected and evaluated in respect of intensity and/or phase and/or polarisation, the laser light being pulsed such that a particular layer section (10) that has been irradiated therewith is heated in a cyclically alternating manner and is cooled at least partially. To this end, the pulse duration of the laser light is selected such that temperature increases at least temporarily in the layer (4) as far as the boundary layer between the layer (4) and the substrate (3) arranged therebelow. The pulse spacing is adjusted such that the layer in the irradiated layer section (10) can cool. The emission wave length of the laser light is selected such that the layer behaves at least partially optically transparently for the incident laser light.
(FR)L'invention concerne un procédé pour déterminer la qualité de couches (4) appliquées sur des substrats (3), en particulier de couches (4) appliquées sur des substrats (3) servant à la protection contre l'usure, à la protection contre la corrosion, à la décoration, à la photovoltaïque et/ou de peintures et de stratifiés. De la lumière laser est générée, avec laquelle la surface de la couche (4) à étudier est exploré avec résolution de position, et un faisceau de rayons (6) réfléchi par la couche (4) est appréhendé et est évalué du point de vue de l'intensité et/ou de la phase et/ou de la polarisation. La lumière laser est pulsée de telle manière qu'une section de couche (10) respectivement exposée à celle-ci est réchauffée et est au moins en partie refroidie en alternance cyclique. Pour cela, la durée d'impulsion de la lumière laser est choisie de telle manière qu'il se produit au moins passagèrement une augmentation de la température dans la couche (4), jusqu'à la couche limite entre la couche (4) et le substrat (3) disposé en dessous. L'espacement des impulsions est réglé de telle manière que la couche dans la section de couche (10) respectivement exposée puisse se refroidir. La longueur d'onde d'émission de la lumière laser est choisie de telle sorte que la couche laisse passer au moins en partie, d'un point de vue optique, la lumière laser incidente.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)