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1. (WO2013183546) MATÉRIAU DE CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE À BASE DE FE-CO, ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/183546    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/065106
Date de publication : 12.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), B22F 3/14 (2006.01), C22C 19/07 (2006.01), C22C 38/00 (2006.01), G11B 5/667 (2006.01), G11B 5/851 (2006.01), B22F 9/04 (2006.01), B22F 9/08 (2006.01)
Déposants : HITACHI METALS,LTD. [JP/JP]; 2-1,Shibaura 1-chome,Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP)
Inventeurs : FUKUOKA, Jun; (JP).
SAITO, Kazuya; (JP).
SAKAMAKI, Kouichi; (JP).
HATA, Tomoyuki; (JP)
Mandataire : NAKAJIMA, Jun; TAIYO, NAKAJIMA & KATO, Seventh Floor, HK-Shinjuku Bldg., 3-17, Shinjuku 4-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-128657 06.06.2012 JP
Titre (EN) Fe-Co-BASED ALLOY SPUTTERING TARGET MATERIAL, AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) MATÉRIAU DE CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE À BASE DE FE-CO, ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) Fe-Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides a Fe-Co-based alloy sputtering target material represented by a compositional formula (Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md (0 < a ≤ 80, 0 ≤ b ≤ 10, 0 ≤ c ≤ 15, 5 ≤ b+c ≤ 15, 2 ≤ d ≤ 20, 15 ≤ b+c+d ≤ 25, and M represents at least one element selected from the group consisting of Mo, Cr and W) when expressed in an atomic ratio, contains a remainder made up by unavoidable impurities, and has a percent bending fracture strain (εfB) of 0.4% or more at 300˚C.
(FR)La présente invention concerne un matériau de cible de pulvérisation en alliage à base de Fe-Co représenté par une formule de composition (Fea-Co100-a)100-b-c-d-Tab-Nbc-Md (0 < a ≤ 80, 0 ≤ b ≤ 10, 0 ≤ c ≤ 15, 5 ≤ b+c ≤ 15, 2 ≤ d ≤ 20, 15 ≤ b+c+d ≤ 25, et M représente au moins un élément choisi dans le groupe constitué par Mo, Cr et W) quand elle est exprimée selon un rapport atomique, qui contient un reste constitué d'impuretés inévitables, et qui possède un pourcentage de résistance à la fracturation par pliage (εfB) d'au moins 0,4 % à 300 ˚C.
(JA) 本発明は、原子比における組成式が(Fe-Co100-a100-b-c-d-Ta-Nb-M(0<a≦80、0≦b≦10、0≦c≦15、5≦b+c≦15、2≦d≦20、15≦b+c+d≦25、Mは、Mo、CrおよびWからなる群から選ばれる1つ以上の元素を表す。)で表され、不可避的不純物からなる残部を含み、かつ300℃における曲げ破断歪率εfBが0.4%以上であるFe-Co系合金スパッタリングターゲット材を提供する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)