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1. (WO2013183471) DISPOSITIF D'INSPECTION D'APPARENCE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'APPARENCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/183471    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/064574
Date de publication : 12.12.2013 Date de dépôt international : 27.05.2013
CIB :
G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Nihonbashi Muromachi Bldg., 3-16, Nihonbashi Hongokucho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030021 (JP)
Inventeurs : YAMAMOTO,Hisashi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-126912 04.06.2012 JP
Titre (EN) APPEARANCE INSPECTION DEVICE AND APPEARANCE INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION D'APPARENCE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'APPARENCE
(JA) 外観検査装置及び外観検査方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an appearance inspection device that can perform strict good-or-defective determination without being impacted by the unevenness of a formed film, while maintaining favorable examination resolution and short inspection takt time. More specifically, the following are provided: an examination pattern specifying section for specifying, as an examination-target pattern image, a partial region of image data acquired using an image acquisition section; a luminance information acquisition section for acquiring luminance information for each divided region in which examination-target pattern images are divided into a matrix shape; and a determination reference pattern registering section for registering a previously acquired examination-target pattern as a determination reference pattern. The appearance inspection device is characterized by being provided with the following: a luminance difference calculation section for comparing the determination reference pattern and an examination target pattern to be acquired next as a target of good-or-defective determination and thereby calculating the luminous information difference; a good-or-defective reference registration section for pre-registering in divided regions a good-or-defective determination reference value relating to luminance-information differences of divided regions calculated using the luminance difference calculation section; and a good-or-defective determination section for performing good-or-defective determination for the divided regions of the examination target pattern on the basis of the reference value of good-or-defective determination.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif d'inspection d'apparence qui peut réaliser une détermination bonne ou défectueuse stricte sans être impactée par l'irrégularité d'un film formé, tout en maintenant une résolution d'examen favorable et un « takt time » d'inspection court. Plus spécifiquement, la présente invention comporte ce qui suit : une section spécifiant un motif d'examen pour spécifier, en tant qu'image de motif de cible d'examen, une région partielle de données d'image acquises à l'aide d'une section d'acquisition d'image ; une section d'acquisition d'informations de luminance pour acquérir des informations de luminance pour chaque région divisée dans laquelle des images de motif de cible d'examen sont divisées sous forme de matrice ; et une section d'enregistrement de motif de référence de détermination pour enregistrer un motif de cible d'examen acquis précédemment en tant que motif de référence de détermination. Le dispositif d'inspection d'apparence est caractérisé en ce qu'il comporte ce qui suit : une section de calcul de différence de luminance pour comparer le motif de référence de détermination et un motif de cible d'examen à acquérir ensuite en tant que cible de détermination bonne ou défectueuse et ainsi calculer la différence d'informations lumineuses ; une section d'enregistrement de référence bonne ou défectueuse pour préenregistrer dans des régions divisées une valeur de référence de détermination bonne ou défectueuse en rapport avec des différences d'informations de luminance de régions divisées calculées à l'aide de la section de calcul de différence de luminance ; et une section de détermination bonne ou défectueuse pour réaliser une détermination bonne ou défectueuse pour les régions divisées du motif de cible d'examen sur la base de la valeur de référence de détermination bonne ou défectueuse.
(JA) 良好な検査分解能と短い検査タクトを維持しつつ、成膜のむらの影響を受けずに厳密な良否判定が行える、外観検査装置を提供する。 具体的には、画像取得部で取得された画像データの一部の領域を検査対象パターン画像として特定する検査パターン特定部と、検査対象パターン画像をマトリクス状に分割した分割領域毎に輝度情報を取得する輝度情報取得部と、先に取得した検査対象パターンを判定基準パターンとして登録する判定基準パターン登録部とを備え、判定基準パターンと、次に取得して良否判定の対象となる検査対象パターンとを比較して輝度情報の差分を算出する輝度差分算出部と、輝度差分算出部で算出された分割領域毎の輝度情報の差分に対する良否判定の基準値を分割領域毎に予め登録しておく良否基準登録部と、良否判定の基準値に基づいて検査対象パターンの分割領域毎に良否判定を行う良否判定部とを備えていることを特徴とする外観検査装置。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)