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1. (WO2013181374) ACCÉLÉROMÈTRE AYANT UN FACTEUR Q INFÉRIEUR À 2,0 ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TEL ACCÉLÉROMÈTRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/181374    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/043334
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
G01P 1/00 (2006.01), G01P 1/02 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01)
Déposants : ANALOG DEVICES, INC. [US/US]; One Technology Way Norwood, Massachusetts 02062-9106 (US)
Inventeurs : CHEN, Li; (US).
YANG, Kuang L.; (US)
Mandataire : TUYTSCHAEVERS, Thomas J.; Sunstein Kann Murphy & Timbers LLP 125 Summer Street Boston, Massachusetts 02110-1618 (US)
Données relatives à la priorité :
13/484,567 31.05.2012 US
Titre (EN) ACCELEROMETER HAVING A Q-FACTOR OF LESS THAN 2.0 AND A METHOD OF FABRICATING SUCH AN ACCELEROMETER
(FR) ACCÉLÉROMÈTRE AYANT UN FACTEUR Q INFÉRIEUR À 2,0 ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TEL ACCÉLÉROMÈTRE
Abrégé : front page image
(EN)A capped micromachined accelerometer with a Q-factor of less than 2.0 is fabricated by encapsulating a gas having a viscosity of less than 25.0 µPa.s with the movable mass of the micromachined accelerometer by providing small gaps between the movable mass and the substrate, and between the movable mass and the cap. The cap may be a silicon cap, and may be an ASIC smart cap.
(FR)La présente invention concerne un accéléromètre micro-usiné fermé par un capuchon ayant un facteur Q inférieur à 2,0, fabriqué par encapsulation d'un gaz dont la viscosité est inférieure à 25,0 µPa.s avec la masse mobile de l'accéléromètre micro-usiné, en prévoyant de petits interstices entre la masse mobile et le substrat et entre la masse mobile et le capuchon. Le capuchon peut être un capuchon de silicium, et peut être un capuchon intelligent de type ASIC.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)