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1. (WO2013181011) SYSTÈME D'INSPECTION À SUPER-RÉSOLUTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/181011    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/041840
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 20.05.2013
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : CAVAN, Daniel; (US).
CHEN, Grace Hsiu-Ling; (US).
CHEN, Qibiao; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; Legal Department One Technology Drive Milpitas, US 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
61/652,764 29.05.2012 US
61/787,931 15.03.2013 US
13/863,519 16.04.2013 US
Titre (EN) SUPER RESOLUTION INSPECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION À SUPER-RÉSOLUTION
Abrégé : front page image
(EN)The disclosure is directed to a system and method for inspecting a sample by illuminating the sample at a plurality of different angles and independently processing the resulting image streams. Illumination is directed through a plurality of pupil apertures to a plurality of respective field apertures so that the sample is imaged by portions of illumination directed at different angles. The corresponding portions of light reflected, scattered, or radiated from the surface of the sample are independently processed. Information associated with the independently processed portions of illumination is utilized to determine a location of at least one defect of the sample. Independently processing multiple image streams associated with different illumination angles allows for retention of frequency content that would otherwise be lost by averaging information from multiple imaging angles.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé d'inspection d'un échantillon par éclairement de l'échantillon sous une pluralité d'angles différents et par traitement indépendant des flux d'images obtenus. L'éclairement est dirigé à travers une pluralité d'ouvertures de pupilles vers une pluralité d'ouvertures de champ respectives de manière à ce que l'image de l'échantillon soit formée par des parties de l'éclairement qui sont dirigées sous des angles différents. Les parties correspondantes de la lumière réfléchie, diffusée ou rayonnée par la surface de l'échantillon sont traitées indépendamment. Les informations associées aux parties traitées indépendamment de l'éclairement sont exploitées pour déterminer la position d'au moins un défaut de l'échantillon. Le traitement indépendant de multiples flux d'images associées à des angles d'éclairement différents permet de conserver le contenu en fréquence qui serait perdu dans le cas contraire du fait d'un moyennage des informations obtenues à partir des multiples angles de formation d'image.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)