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1. (WO2013180885) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PROTECTION D'UN LASER D'ENSEMENCEMENT DANS UNE SOURCE DE LUMIÈRE EUV À L'AIDE D'UN AOM DE BRAGG
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/180885    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/039122
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 01.05.2013
CIB :
G02F 1/11 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [--/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL)
Inventeurs : GRAVA, Johathan, D.; (US).
SANDSTROM, Richard, L.; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; CYMER, INC. Legal Dept., MS/4-2D 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
61/653,978 31.05.2012 US
13/737,858 09.01.2013 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR PROTECTING A SEED LASER IN AN EUV LIGHT SOURCE WITH A BRAGG AOM
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PROTECTION D'UN LASER D'ENSEMENCEMENT DANS UNE SOURCE DE LUMIÈRE EUV À L'AIDE D'UN AOM DE BRAGG
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for protecting the seed laser in a laser produced plasma (LPP) extreme ultraviolet (EUV) light system are disclosed. In one embodiment, a Bragg AOM is used as a switch on the beam path from the seed laser to other optical components and ultimately to an irradiation site. Power is applied to the Bragg AOM and pulses from the seed laser are thus deflected onto the desired beam path rather than passing straight through the Bragg AOM. Once the pulses have passed through the Bragg AOM., power to the Bragg AOM ceases, so that any reflections from the irradiation site will pass straight through the Bragg AOM and will not be deflected back to the seed laser. Use of the Bragg AOM rather than components previously used results In lower power consumption and better protection for the seed laser-
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil de protection d'un laser d'ensemencement dans un système à rayonnement dans l'extrême ultraviolet (EUV) à plasma produit par laser (LPP). Dans un mode de réalisation de l'invention, un AOM (modulateur acousto-optique) de Bragg est utilisé en tant que commutateur sur le trajet de faisceau du laser d'ensemencement vers d'autres composants optiques et finalement vers un site d'exposition. De la puissance est appliquée à l'AOM de Bragg et les impulsions du laser d'ensemencement sont ainsi déviées sur le trajet de faisceau souhaité au lieu de passer en ligne droite à travers l'AOM de Bragg. Une fois que les impulsions ont traversé l'AOM de Bragg, l'alimentation en puissance de l'AOM de Bragg cesse, de sorte que toute réflexion provenant du site d'exposition passe en ligne droite à travers l'AOM de Bragg et ne soit pas déviée à nouveau vers le laser d'ensemencement. L'utilisation de l'AOM de Bragg plutôt que celle des composants utilisés précédemment permet de réduire la consommation de puissance ainsi qu'une meilleure protection du laser d'ensemencement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)