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1. (WO2013180250) ORGANE DE TRAJET D'ÉCOULEMENT, ET ÉCHANGEUR DE CHALEUR ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/180250    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/065118
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
F28F 3/12 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
Inventeurs : SEKIGUCHI,Keiichi; (JP).
FUJIO,Kazuhiko; (JP).
ISHIMINE,Yuusaku; (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-123287 30.05.2012 JP
Titre (EN) FLOW PATH MEMBER, AND HEAT EXCHANGER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING SAME
(FR) ORGANE DE TRAJET D'ÉCOULEMENT, ET ÉCHANGEUR DE CHALEUR ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS L'UTILISANT
(JA) 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide a flow path member having improved heat exchange efficiency, as well as a heat exchanger and a semiconductor manufacturing apparatus using this flow path member. [Solution] A flow path member equipped with a lid part, a bottom panel part, and side wall parts provided between the lid part and the bottom panel part, with the lid part, the bottom panel part and the side wall parts forming a flow path within which a fluid flows. A portion of the surface of the side wall parts on the flow-path side has a coarse part that is coarser than other areas, so obstruction of the flow of the fluid is suppressed, and the fluid easily forms a turbulent flow due to the existence of the coarse part, thereby increasing the heat exchange efficiency of the flow path member.
(FR)La présente invention concerne un organe de trajet d'écoulement ayant un rendement d'échange thermique amélioré, ainsi qu'un échangeur de chaleur et un dispositif de fabrication de semi-conducteurs utilisant ledit organe de trajet d'écoulement. L'organe de trajet d'écoulement selon la présente invention est équipé des éléments suivants : une partie couvercle, une partie panneau inférieur, et des parties formant parois latérales prévues entre la partie couvercle et la partie panneau inférieur. La partie couvercle, la partie panneau inférieur et les parties formant parois latérales forment un trajet d'écoulement dans lequel circule un fluide. Une partie de la surface des parties formant parois latérales côté trajet d'écoulement présente une partie rugueuse qui est plus rugueuse que d'autres zones, de sorte que les blocages d'écoulement du fluide sont évités, et le fluide forme facilement un écoulement turbulent en raison de l'existence de la partie rugueuse, ce qui augmente le rendement d'échange thermique de l'organe de trajet d'écoulement.
(JA) 【課題】 熱交換効率が向上した流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 蓋体部と、底板部と、前記蓋体部と前記底板部との間に設けられた側壁部とを備え、前記蓋体部と前記側壁部と前記底板部とで内部に流体が流れる流路を構成してなり、前記側壁部の前記流路側の面の一部に、他の部位よりも粗い粗部を有することから、流体の流れを阻害することを抑制するとともに粗部を有することによって流体が乱流し易くなり、流路部材の熱交換効率を高めることができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)