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1. (WO2013179977) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TELS DISPOSITIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179977    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/064228
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 22.05.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : NEGISHI Taketoshi; (JP).
FUKUI Tatsuo; (JP)
Mandataire : SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
61/652,719 29.05.2012 US
Titre (EN) ILLUMINATION DEVICE, PROCESSING DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TELS DISPOSITIFS
(JA) 照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)An illumination device (IU) comprises: a first light source unit (21a); a second light source unit (21b) with a light emission direction which differs from that of the first light source unit; and a deflector unit (22) which deflects at least a portion of light such that a progress direction of light from the first light source unit and of light from the second light source unit are collected. The first light source unit and the second light source unit are positioned in different locations in prescribed directions such that illumination regions into which light enters which is emitted from each light source unit and transits the deflection unit are aligned contiguously in the prescribed directions.
(FR)Un dispositif d'éclairage (IU) comprend : une première unité source de lumière (21a) ; une seconde unité source de lumière (21b) ayant une direction d'émission de lumière qui diffère de celle de la première unité source de lumière ; et une unité de déviation (22) qui dévie au moins une partie de la lumière de telle manière qu'une direction de progression de la lumière provenant de la première unité source de lumière et une direction de progression de la lumière provenant de la seconde unité source de lumière sont collectées. Les première et seconde unités sources de lumière sont positionnées en différents emplacements dans des directions prescrites de telle manière que des régions d'éclairage, dans lesquelles une lumière qui est émise par chaque unité source de lumière entre puis transite par l'unité de déviation, sont alignées de manière contiguë dans les directions prescrites.
(JA) 照明装置(IU)は、第1の光源部(21a)と、第1の光源部と光の出射方向が異なる第2の光源部(21b)と、第1の光源部からの光と第2の光源部からの光の進行方向を揃えるように、光の少なくとも一部を偏向する偏向部(22)と、を備える。第1の光源部と第2の光源部は、各光源部から出射して偏向部を経由した光が入射する照明領域が所定方向に連続して並ぶように、所定方向において異なる位置に配置されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)