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1. (WO2013179826) DISPOSITIF DE RECUIT LASER COMPORTANT UNE FONCTION DE MESURE DE FORME D'ONDE D'IMPLUSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179826    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/062011
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 24.04.2013
CIB :
H01L 21/268 (2006.01), H01L 21/20 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01)
Déposants : THE JAPAN STEEL WORKS, LTD. [JP/JP]; 11-1, Osaki 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410032 (JP)
Inventeurs : OTA Yuzaburo; (JP)
Mandataire : ARICHIKA Shinshiro; 30-23, Takadanobaba 4-chome, Shinjuku-ku Tokyo 1690075 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-120487 28.05.2012 JP
Titre (EN) LASER ANNEALING DEVICE HAVING PULSE WAVEFORM MEASURING FUNCTION
(FR) DISPOSITIF DE RECUIT LASER COMPORTANT UNE FONCTION DE MESURE DE FORME D'ONDE D'IMPLUSION
(JA) パルス波形測定機能を有するレーザアニール装置
Abrégé : front page image
(EN)A laser annealing device having a pulse waveform measuring function comprises: a laser receiving unit (2) which receives pulse laser light (L) and outputs light-receiving intensity data (I); a control unit (3) which acquires as item values from the light-receiving intensity data (I) the average waveform information including at least the average peak value and the average area value in a plurality of pulses, and acquires as item values group waveform information including at least the average value, dispersion, and the maximum and minimum values of each item value associated with the plurality of the acquired average waveform information; and an operation unit (10) which outputs the group waveform information. The degradation of the pulse laser light can be monitored without being limited by an excited gas pulse laser oscillator and a pulse waveform having first and second peak values.
(FR)L'invention concerne un dispositif de recuit laser comportant une fonction de mesure de forme d'onde d'implusion, qui comprend : une unité de réception laser (2), qui reçoit la lumière laser pulsée (L) et produit des données (I) d'intensité de réception de lumière ; une unité de commande (3), qui acquiert comme valeurs d'élément, à partir des données (I) d'intensité de réception de lumière, des informations de forme d'onde moyenne incluant au moins la valeur de crête moyenne et la valeur de surface moyenne d'une pluralité d'impulsions, et acquiert comme valeurs d'élément des informations de forme d'onde groupées incluant au moins la valeur moyenne, la dispersion ainsi que les valeurs maximum et minimum de chaque valeur d'élément associée à la pluralité des informations de forme d'onde moyenne acquises ; et une unité de d'exploitation (10), qui produit les informations de forme d'onde groupées. La dégradation de la lumière laser pulsée peut être surveillée sans limitation par un oscillateur laser pulsé à gaz excité et une forme d'onde d'impulsion comportant une première et une deuxième valeur de crête.
(JA) パルスレーザ光(L)を受光し受光強度データ(I)を出力するレーザ受光部(2)と、受光強度データ(I)から複数個のパルスにおける平均ピーク値と平均面積値とを少なくとも項目値として含む平均波形情報を取得し、得られた複数の平均波形情報について各項目値の平均値とバラツキと最大値と最小値とを少なくとも項目値として含む群波形情報を取得する制御部(3)と、群波形情報を出力する操作部(10)とを具備する。ガス励起パルスレーザ発振器や第1ピーク値および第2ピーク値を持つパルス波形に限定されずに、パルスレーザ光の劣化を監視できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)