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1. (WO2013179550) DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT VOLUMIQUE POURVU D'UN MONITEUR DE DÉBIT VOLUMIQUE À SYSTÈME DE RÉDUCTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179550    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/002542
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 15.04.2013
CIB :
G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventeurs : NAGASE, Masaaki; (JP).
HIDAKA, Atsushi; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP).
IKEDA, Nobukazu; (JP)
Mandataire : SUGIMOTO, Takeo; Toa Bldg., 5-7, Minami-honmachi 4-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410054 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-124339 31.05.2012 JP
Titre (EN) FLOW VOLUME CONTROL DEVICE EQUIPPED WITH BUILD-DOWN SYSTEM FLOW VOLUME MONITOR
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT VOLUMIQUE POURVU D'UN MONITEUR DE DÉBIT VOLUMIQUE À SYSTÈME DE RÉDUCTION
(JA) ビルドダウン方式流量モニタ付流量制御装置
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is equipped with: an upstream valve (AV) that opens/closes the flow from a gas supply source having a prescribed gas supply pressure; a flow volume control device connected downstream from the upstream valve (AV) and having resistance to pressure variations; a temperature sensor (T) that detects the temperature of the gas flowing in a passage forming a build-down capacity (BC), when the internal capacity of a passage connecting the outlet side of the upstream valve (AV) and the inlet side of the flow volume control device is taken as the build-down capacity (BC); a pressure sensor (P) that detects the pressure of the gas flowing in the passage forming the build-down capacity (BC); and a monitored flow volume calculation control unit (CPb), which controls the opening/closing of the upstream valve (AV), and which brings the gas pressure in the build-down capacity (BC) to a set upper limit pressure value by opening the upstream valve (AV), after which the gas pressure is lowered to a set lower limit pressure value after a prescribed time of t seconds by closing the upstream valve (AV), thereby calculating and outputting a monitored flow volume (Q) by means of a build-down system. The monitored flow volume (Q) is calculated and output as Q = 1000/760×60×273/(273+T)×V×ΔP/Δt.
(FR)La présente invention comprend : une vanne en amont (AV) qui ouvre/ferme le flux provenant d'une source d'alimentation en gaz ayant une pression d'alimentation en gaz prescrite ; un dispositif de commande de débit volumique raccordé en aval de la vanne en amont (AV) et présentant une résistance aux variations de pression ; un capteur de température (T) qui détecte la température du gaz circulant dans un passage définissant une capacité de réduction (BC), la capacité interne d'un passage raccordant le côté sortie de la vanne en amont (AV) au côté entrée du dispositif de commande de débit volumique étant considérée comme la capacité de réduction (BC) ; un capteur de pression (P) qui détecte la pression du gaz circulant dans le passage définissant la capacité de réduction (BC) ; et une unité de commande de calcul de débit volumique surveillé (CPb) qui commande l'ouverture et la fermeture de la vanne en amont (AV) et qui amène la pression du gaz dans la capacité de réduction (BC) à une valeur de pression limite supérieure paramétrée en ouvrant la vanne en amont (AV), suite à quoi la pression du gaz est abaissée jusqu'à une valeur de pression limite inférieure paramétrée après un temps prescrit de t secondes en fermant la vanne en amont (AV), ce qui permet de calculer et sortir un débit volumique surveillé (Q) à l'aide d'un système de réduction. Le débit volumique surveillé (Q) est calculé et sorti tel que Q = 1000/760×60×273/(273+T)×V×ΔP/Δt.
(JA)所望のガス供給圧を有するガス供給源からの流通を開閉する上流側弁(AV)と、上流側弁(AV)の下流側に接続した耐圧力変動性を備えた流量制御装置と、上流側弁(AV)の出口側と流量制御装置の入口側を連通する通路の内容積をビルドダウン容量(BC)とすると共に、当該ビルドダウン容量(BC)を形成する通路内を流通するガスの温度を検出する温度センサ(T)と、ビルドダウン容量(BC)を形成する通路内を流通するガスの圧力を検出する圧力センサ(P)と、上流側弁(AV)の開閉制御を行うと共に、上流側開閉弁(AV)の開放によりビルドダウン容量(BC)内のガス圧力を設定上限圧力値にしたあと、上流側弁(AV)の閉鎖により所定時間t秒後にガス圧力を設定下限圧力値まで下降させることによりビルドダウン方式によりモニタ流量(Q)を演算し出力するモニタ流量演算制御部(CPb)とを備え、前記モニタ流量(Q)をQ=1000/760×60×273/(273+T)×V×ΔP/Δtとして演算し、出力する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)