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1. (WO2013179481) NACELLE DE MONTAGE DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179481    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/064284
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 01.06.2012
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511 (JP) (Tous Sauf US).
HIGASHI, Masahisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAKEDA, Naoya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TANAKA, Suguru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIGASHI, Masahisa; (JP).
TAKEDA, Naoya; (JP).
TANAKA, Suguru; (JP)
Mandataire : MIYOSHI, Hidekazu; Toranomon Kotohira Tower, 2-8, Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE-MOUNTING BOAT
(FR) NACELLE DE MONTAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板搭載用ボート
Abrégé : front page image
(EN)A substrate-mounting boat having a substrate plate that can be fixed to a suction bar by vacuum suction, a substrate being vertically mounted on the substrate plate, wherein: the substrate plate has two principal surfaces opposite each other; a mounting region for mounting the substrate is defined on at least one of the two principal surfaces; a recess region, which is lower than the surroundings, is formed in the region remaining after the mounting region is defined; and a suction region, with which the suction port of the suction bar comes into contact, is defined within a region, opposite the recess region, of the other principal surface opposite the principal surface on which the mounting region is defined.
(FR)La présente invention concerne une nacelle de montage de substrat comportant une plaque de substrat qui peut être fixée à un tuyau d'aspiration par aspiration sous vide, un substrat étant monté verticalement sur la plaque de substrat. Selon l'invention, la plaque de substrat comporte deux surfaces principales en regard l'une de l'autre; une région de montage permettant de monter le substrat est délimitée sur au moins l'une des deux surfaces principales; une région d'évidement, qui est inférieure aux parties circonvoisines, est formée dans la région restant une fois délimitée la région de montage; et une région d'aspiration, avec laquelle vient en contact l'orifice d'aspiration du tuyau d'aspiration, est délimitée à l'intérieur d'une région, en regard de la région d'évidement, de l'autre surface principale située en regard de la surface principale sur laquelle est délimitée la région de montage.
(JA) 真空吸着により吸着バーに固定可能な基板プレートを有し、基板プレートに基板が垂直に搭載される基板搭載用ボートであって、基板プレートが互いに対向する2つの主面を有し、2つの主面の少なくとも一方に基板が搭載される搭載領域が定義され、その搭載領域が定義された領域の残余の領域において周囲よりも低い凹部領域が形成され、搭載領域が定義された主面に対向する他方の主面に、凹部領域と対向する領域の内部に前記吸着バーの吸着口が接する吸着領域が定義されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)