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1. (WO2013179247) TRANCHE ET PROCÉDÉ POUR SA FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179247    N° de la demande internationale :    PCT/IB2013/054455
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
B06B 1/02 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS N.V. [NL/NL]; High Tech Campus 5 NL-5656 AE Eindhoven (NL)
Inventeurs : DIRKSEN, Peter; (NL)
Mandataire : STEFFEN, Thomas; High Tech Campus Building 5 NL-5656 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/653,675 31.05.2012 US
Titre (EN) WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(FR) TRANCHE ET PROCÉDÉ POUR SA FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a wafer (100) being subdivided and separable into a plurality of dies. Each die (110) comprises an array of capacitive micro-machined transducer cells (1). Each cell comprises a substrate (10) comprising a first electrode (11), a membrane (13) comprising a second electrode (14), and a cavity (12) between the substrate (10) and the membrane (13). Each cell (1) of at least a part of the dies (110) comprises a compensating plate (15) on the membrane (13), each compensating plate (15) having a configuration for influencing a bow (h) of the membrane (13). The configurations of the compensating plates (13) vary across the wafer (100). The present invention further relates to a method of manufacturing such a wafer and a method of manufacturing such a die.
(FR)La présente invention concerne une tranche (100) qui est subdivisée et susceptible d'être séparée en une pluralité de pastilles. Chaque pastille (110) comporte un réseau de cellules (1) de transducteurs capacitifs micro-usinés. Chaque cellule comporte un substrat (10) comprenant une première électrode (11), une membrane (13) comprenant une deuxième électrode (14), et une cavité (12) entre le substrat (10) et la membrane (13). Chaque cellule (1) d'au moins une partie des pastilles (110) comporte une plaque compensatrice (15) sur la membrane (13), chaque plaque compensatrice (15) présentant une configuration destinée à influencer un arc (h) de la membrane (13). Les configurations des plaques compensatrices (13) varient sur l'étendue de la tranche (100). La présente invention concerne en outre un procédé de fabrication d'une telle tranche et un procédé de fabrication d'une telle pastille.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)