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1. (WO2013179028) STABILISER DE MINCES PELLICULES DE MÉTAL SUR DES SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/179028    N° de la demande internationale :    PCT/GB2013/051422
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 29.05.2013
CIB :
H01L 51/00 (2006.01), H01L 51/42 (2006.01), H01L 51/44 (2006.01)
Déposants : THE UNIVERSITY OF WARWICK [GB/GB]; University House Kirby Corner Road Coventry West Midlands CV4 8UW (GB)
Inventeurs : HATTON, Ross; (GB).
STEC, Helena; (GB)
Mandataire : BUTLER, Michael; Dehns St Bride's House 10 Salisbury Square London Greater London EC4Y 8JD (GB)
Données relatives à la priorité :
1209489.2 29.05.2012 GB
Titre (EN) STABILISING THIN METAL FILMS ON SUBSTRATES
(FR) STABILISER DE MINCES PELLICULES DE MÉTAL SUR DES SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)A method of producing a thin film structure such as a transparent electrode. A transparent thin film of a first metal such as gold or silver is deposited on a substrate. There is then deposited on the thin film of the first metal a compound of a second metal which forms a continuous, transparent thin film of an oxide of the second metal on the film of the first metal. The substrate carrying the thin films is annealed at a temperature of at least about 300 °C. The compound of a second metal that is deposited on the first metal may be a precursor that is treated, for example by heat, so as to produce the oxide of the second metal. The precursor may be an organometallic compound of the second metal; or a hydroxide of the second metal; or a sol of nanoparticles of the oxide of the second metal mixed with an organometallic precursor of the oxide of the second metal. The precursor may be deposited as a liquid. The oxide may be TiOx, WOx, MoOx, VOx, TaOx, ZnOx, NiOx or AIOx..
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire une structure de pellicule mince, par exemple une électrode transparente. Une pellicule mince transparente d'un premier métal, par exemple de l'or ou de l'argent, est déposée sur un substrat. On dépose alors sur la pellicule mince de premier métal un composé d'un second métal qui forme une pellicule mince transparente continue d'un oxyde du second métal sur la pellicule de premier métal. Le substrat portant les pellicules minces est recuit à une température d'au moins environ 300 °C. Le composé d'un second métal qui est déposé sur le premier métal peut être un précurseur qui est traité, par exemple par la chaleur, afin de produire l'oxyde du second métal. Le précurseur peut être un composé organométallique du second métal; ou un hydroxyde du second métal; ou un sol de nanoparticules de l'oxyde du second métal mélangées à un précurseur organométallique de l'oxyde du second métal. Le précurseur peut être déposé sous forme liquide. L'oxyde peut être du TiOx, du WOx, du MoOx, du VOx, du TaOx, du ZnOx, du NiOx ou de l'AlOx.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)