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1. (WO2013178824) SUSCEPTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/178824    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/061384
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 03.06.2013
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : KGT GRAPHIT TECHNOLOGIE GMBH [DE/DE]; Im Nassen 3 53578 Windhagen (DE)
Inventeurs : KORNMEYER, Torsten; (DE).
WISSKIRCHEN, Meinhard; (DE).
STILL, Steffen; (DE)
Mandataire : HUDLER, Frank; Lippert, Stachow & Partner Krenkelstraße 3 01309 Dresden (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 209 278.1 01.06.2012 DE
Titre (DE) SUSZEPTOR
(EN) SUSCEPTOR
(FR) SUSCEPTEUR
Abrégé : front page image
(DE)Suszeptor aus Graphit oder CFC für den Prozessraum von Schutzgas- und Vakuum-Hochtemperatur-Prozessanlagen, der tunnelähnlich ausgebildet ist und an seinen beiden Enden jeweils mit einem Deckel verschließbar ist, Durch die Erfindung soll ein flexibel modular ausbaubaren Suszeptor geschaffen werden, der einen Material sparenden Aufbau besitzt und insbesondere eine gleichmäßige Wärmedehnung aufweist. Erreicht wird das dadurch, dass der Suszeptor (1) aus einer Mehrzahl von längs zu einem durchgehenden Tunnel aneinander gereihten Modulen (2) besteht, dass jedes Modul (2) aus einem Rohrabschnitt (3) und einer daran befestigten Bodenplatte (4) besteht und dass die Stirnflächen (5) zwischen jeweils zwei Modulen (2) formschlüssig miteinander verbunden sind.
(EN)The invention relates to a susceptor which is for the processing chamber of protective gas and vacuum high-temperature processing installations and consists of graphite or CFC, has a tunnel-like design, and can be closed by a cover at both its ends. The invention should allow the provision of a flexibly and modularly extendable susceptor that has a material-saving design and, in particular, uniform thermal expansion. This is achieved by virtue of the fact that said susceptor (1) consists of a plurality of modules (2) aligned one next to the other along a continuous tunnel, that each module (2) consists of a tubular section (3) and a base panel (4) fixed thereto, and that the end faces (5) between each pair of modules (2) are interconnected in a form-fitting manner.
(FR)L'invention concerne un suscepteur graphite ou CFC destiné au local de processus d'installations de traitement haute température sous vide ou sous gaz protecteurs. Ce suscepteur se présente sous une forme de type tunnel et peut être fermé par un couvercle en chacune de ses extrémités. L'objectif de l'invention est de créer un suscepteur pouvant être agrandi de manière flexible et modulaire, qui possède une structure économe de la matière et qui présente plus particulièrement une dilatation thermique homogène. Cet objectif est atteint par le fait que le suscepteur (1) se compose d'une pluralité de modules (2) juxtaposés en longueur pour former un tunnel continu, que chaque module (2) se compose d'un tronçon tubulaire (3) et d'une plaque de base (4) qui y est fixée et que les faces frontales (5) sont reliées entre elles par complémentarité de forme entre respectivement deux modules (2).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)