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1. (WO2013178429) ASSEMBLAGE POUR MODIFIER DES PROPRIÉTÉS D'UNE PLURALITÉ DE FAISCEAUX DE RAYONNEMENT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE, PROCÉDÉ DE MODIFICATION DE PROPRIÉTÉS D'UNE PLURALITÉ DE FAISCEAUX DE RAYONNEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/178429    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/059347
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 06.05.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 6/00 (2006.01), H01S 5/14 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL)
Inventeurs : MULDER, Heine; (NL).
DE JAGER, Pieter; (NL)
Mandataire : MAAS, Abraham; ASML Netherlands B.V. PO Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/654,575 01.06.2012 US
61/668,924 06.07.2012 US
Titre (EN) AN ASSEMBLY FOR MODIFYING PROPERTIES OF A PLURALITY OF RADIATION BEAMS, A LITHOGRAPHY APPARATUS, A METHOD OF MODIFYING PROPERTIES OF A PLURALITY OF RADIATION BEAMS AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) ASSEMBLAGE POUR MODIFIER DES PROPRIÉTÉS D'UNE PLURALITÉ DE FAISCEAUX DE RAYONNEMENT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE, PROCÉDÉ DE MODIFICATION DE PROPRIÉTÉS D'UNE PLURALITÉ DE FAISCEAUX DE RAYONNEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)An assembly to modify a property of a plurality of radiation beams, the assembly including a plurality of waveguides configured to guide the plurality of radiation beams closer together, and a frequency multiplying device configured to receive the plurality of radiation beams guided by the plurality of waveguides and generate a corresponding plurality of radiation beams having frequencies that are an integer multiple higher. Also described are a corresponding lithography apparatus, method of modifying a property of a plurality of radiation beams and device manufacturing method.
(FR)La présente invention porte sur un assemblage pour modifier une propriété d'une pluralité de faisceaux de rayonnement, l'assemblage comprenant une pluralité de guides d'onde configurés pour guider la pluralité de faisceaux de rayonnement plus proches conjointement, et un dispositif de multiplication de fréquence configuré pour recevoir la pluralité de faisceaux de rayonnement guidés par la pluralité de guides d'onde et générer une pluralité correspondante de faisceaux de rayonnement ayant des fréquences qui sont un multiple entier supérieur. La présente invention porte également sur un appareil de lithographie, un procédé de modification de propriété d'une pluralité de faisceaux de rayonnement et un procédé de fabrication de dispositif correspondants.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)