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1. (WO2013178252) PROCÉDÉ PERMETTANT DE RECOUVRIR UN SUBSTRAT ET DISPOSITIF D'ENROBAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/178252    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/060055
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 29.05.2012
CIB :
C23C 14/35 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
SCHEER, Evelyn [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HANIKA, Markus [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHWANITZ, Konrad [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
PIERALISI, Fabio [IT/DE]; (DE) (US Seulement).
KLÖPPEL, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LIU, Jian [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LOPP, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SCHEER, Evelyn; (DE).
HANIKA, Markus; (DE).
SCHWANITZ, Konrad; (DE).
PIERALISI, Fabio; (DE).
KLÖPPEL, Andreas; (DE).
LIU, Jian; (DE).
LOPP, Andreas; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN, Gerd; Zimmermann & Partner Josephspitalstr. 15 80331 München (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD FOR COATING A SUBSTRATE AND COATER
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT DE RECOUVRIR UN SUBSTRAT ET DISPOSITIF D'ENROBAGE
Abrégé : front page image
(EN)A method for coating a substrate by means of a cathode arrangement including at least two rotatable cathodes is disclosed. The method includes rotating at least one of the at least two rotatable cathodes in a first direction, and, at the same time, rotating at least one of the at least two rotatable cathodes in a second direction. The first direction is opposite to the second direction. Furthermore, a controller for controlling a coating process is disclosed. Furthermore, a coater for coating a substrate is disclosed. The coater includes a cathode arrangement with at least two rotatable cathodes and a controller as disclosed herein.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé permettant de recouvrir un substrat au moyen d'un agencement de cathode qui comprend au moins deux cathodes rotatives. Le procédé consiste à faire tourner au moins l'une des au moins deux cathodes rotatives dans une première direction et, en même temps, à faire tourner au moins l'une des au moins deux cathodes rotatives dans une seconde direction. La première direction est opposée à la seconde direction. En outre, la présente invention se rapporte à un dispositif de commande destiné à commander un procédé de revêtement. En outre, la présente invention se rapporte à un dispositif d'enrobage destiné à recouvrir un substrat. Le dispositif d'enrobage comprend un agencement de cathode ayant au moins deux cathodes rotatives et un dispositif de commande tels que décrits ici.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)