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1. (WO2013178040) SYSTÈME DE DÉGONFLAGE ET TECHNOLOGIE ASSOCIÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/178040    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/076219
Date de publication : 05.12.2013 Date de dépôt international : 24.05.2013
CIB :
F04B 37/02 (2006.01), F04B 37/14 (2006.01)
Déposants : CHU, Qi [CN/CN]; (CN).
CHU, Xin [CN/CN]; (CN)
Inventeurs : CHU, Qi; (CN).
CHU, Xin; (CN)
Mandataire : SHENZHEN ZHONGYI PATENT AND TRADEMARK OFFICE; 4th Fl. West (PO Box No.5), Old Special Zone Newspaper Building No. 1014, Shennan Rd., C., Futian Shenzhen, Guangdong 518028 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210170072.1 29.05.2012 CN
Titre (EN) DEFLATION SYSTEM AND TECHNOLOGY THEREOF
(FR) SYSTÈME DE DÉGONFLAGE ET TECHNOLOGIE ASSOCIÉE
(ZH) 一种抽气系统及工艺
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are a deflation system and technology thereof. The deflation system comprises an electric arc titanium pump (12) and a vacuum chamber (13), and the electric arc titanium pump (12) is communicated with the vacuum chamber directly. Therefore, a high-vacuum valve between the electric arc titanium pump (12) and the vacuum chamber (13) can be eliminated, so that the structure is simple and the cost of the deflation system is reduced. According to the deflation system, after the deflation operation of the electric arc titanium pump (12) is finished and before the vacuum chamber (13) is exposed to the air, a titanium target is cooled for a certain time, so as to reduce the oxidization loss on the surface of the titanium target and prolong the service life of the titanium target.
(FR)L'invention concerne un système de dégonflage et une technologie associée. Le système de dégonflage comprend une pompe à arc électrique en titane (12) et une chambre à vide (13) et la pompe à arc électrique en titane (12) est en communication directe avec la chambre à vide. De ce fait, on peut éliminer une vanne à vide poussé entre la pompe à arc électrique en titane (12) et la chambre à vide (13), ainsi la structure est simple et on peut réduire le coût du système de dégonflage. Selon le système de dégonflage, après la fin de l'action de dégonflage de la pompe à arc électrique en titane (12) et avant l'exposition de la chambre à vide (13) à l'air, une cible en titane est refroidie pendant un certain temps afin de réduire les pertes par oxydation sur la surface de la cible en titane et de prolonger la durée de vie de la cible en titane.
(ZH)一种抽气系统及工艺,抽气系统包括电弧钛泵(12)及真空室(13),所述电弧钛泵(12)直接与真空室(13)连通。如此即可省却电弧钛泵(12)与真空室(13)间的高真空阀,结构简单,降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的,于电弧钛泵(12)抽气结束后,真空室(13)暴露大气之前,使钛靶冷却一段时间,从而降低钛靶表面的氧化损耗,提升钛靶的使用寿命。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)