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1. WO2013172010 - DISPOSITIF CAPTEUR

Numéro de publication WO/2013/172010
Date de publication 21.11.2013
N° de la demande internationale PCT/JP2013/003031
Date du dépôt international 13.05.2013
CIB
G01P 15/125 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02en ayant recours aux forces d'inertie
08avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
125au moyen de capteurs à capacité
G01C 19/5733 2012.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733Details de structure ou topologie
G01C 19/5769 2012.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5769Fabrication; Montage; Boîtiers
G01P 15/18 2013.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
18dans plusieurs dimensions
H01L 29/84 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
66Types de dispositifs semi-conducteurs
84commandés par la variation d'une force mécanique appliquée, p.ex. d'une pression
CPC
G01C 19/5733
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733Structural details or topology
G01C 19/5769
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5769Manufacturing; Mounting; Housings
G01P 15/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
G01P 15/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
18in two or more dimensions
Déposants
  • 株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 有木 史芳 ARIKI, Fumiyoshi
  • 酒井 峰一 SAKAI, Minekazu
  • 杉本 圭正 SUGIMOTO, Kiyomasa
Mandataires
  • 金 順姫 KIN, Junhi
Données relatives à la priorité
2012-11182615.05.2012JP
2013-02697414.02.2013JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SENSOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF CAPTEUR
(JA) センサ装置
Abrégé
(EN) A sensor device including a semiconductor substrate and a plurality of sensor units. The plurality of sensor units are arranged on one side of the semiconductor substrate and convert a physical quantity into an electrical signal. The one side is parallel to a regulated plane regulated by a mutually orthogonal X-direction and Y-direction. The semiconductor substrate has a center point, which is both the geometric center and the center of mass. The semiconductor substrate is shaped so as to be linearly symmetrical with respect to a first reference line that passes through the center point and is parallel to the X-direction and a second reference line that passes through the center point and is parallel to the Y-direction. Each of the plurality of sensor units is shaped so as to be linearly symmetrical with respect to the first reference line and the second reference line.
(FR) La présente invention concerne un dispositif capteur comprenant un substrat semi-conducteur et une pluralité d'unités capteurs. Selon l'invention, la pluralité d'unités capteurs est agencée sur un premier côté du substrat semi-conducteur et convertit une quantité physique en un signal électrique. Le premier côté est parallèle à un plan réglementé réglementé par une direction X et une direction Y mutuellement orthogonales. Le substrat semi-conducteur a un point central, lequel est à la fois le centre géométrique et le centre de masse. Le substrat semi-conducteur est formé de façon à être symétriquement linéaire par rapport à une première ligne de référence qui passe par le point central et qui est parallèle à la direction X, et à une seconde ligne de référence qui passe par le point central et qui est parallèle à la direction Y. Chacune des unités capteurs de la pluralité d'unités capteurs est formée de façon à être symétriquement linéaire par rapport à la première ligne de référence et à la seconde ligne de référence.
(JA)  センサ装置は、半導体基板と複数のセンサ部を有する。複数のセンサ部は、前記半導体基板の一面側に配置され、物理量を電気信号に変換する。前記一面は、互いに直交するX方向とY方向とによって規定される規定平面に平行である。前記半導体基板は、幾何学的及び質量的中心である中心点を有する。前記半導体基板は、前記中心点を通り、前記X方向に平行する第1基準線、及び、前記中心点を通り、前記Y方向に平行する第2基準線それぞれに対して線対称な形状である。前記複数のセンサ部それぞれは、前記第1基準線と前記第2基準線それぞれに対して線対称な形状である。
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