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1. (WO2013162792) SUPPORT ÉLECTROSTATIQUE AYANT UNE PERTE DE PUISSANCE RÉDUITE

Pub. No.:    WO/2013/162792    International Application No.:    PCT/US2013/033001
Publication Date: Fri Nov 01 00:59:59 CET 2013 International Filing Date: Wed Mar 20 00:59:59 CET 2013
IPC: H01L 21/683
H02N 13/00
B23Q 3/15
C04B 35/00
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
MAKHRATCHEV, Konstantin
SUN, Jennifer, Y.
Inventors: MAKHRATCHEV, Konstantin
SUN, Jennifer, Y.
Title: SUPPORT ÉLECTROSTATIQUE AYANT UNE PERTE DE PUISSANCE RÉDUITE
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent généralement un support électrostatique ayant une perte de puissance réduite, et des procédés et un appareil permettant de réduire la perte de puissance dans un support électrostatique, ainsi que ses procédés d'essai et de fabrication. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un support électrostatique. Le support électrostatique comprend une base conductrice, et un corps céramique disposé sur la base conductrice, le corps céramique comprenant une électrode et un ou plusieurs éléments chauffants incorporés, le corps céramique ayant un facteur de dissipation compris entre environ 0,11 et environ 0,16 et une capacité comprise entre environ 750 picofarads et environ 950 picofarads entre l'électrode et le(s) élément(s) chauffant(s).