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1. (WO2013149961) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE DE CONTAMINATION DE MATIÈRE PARTICULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2013/149961 N° de la demande internationale : PCT/EP2013/056794
Date de publication : 10.10.2013 Date de dépôt international : 28.03.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft, NL
Inventeurs :
DE JONG, Anthonius; NL
VAN DER DONCK, Jacques; NL
Mandataire :
SLENDERS, Peter; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
Données relatives à la priorité :
61/619,20902.04.2012US
Titre (EN) PARTICULATE CONTAMINATION MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE DE CONTAMINATION DE MATIÈRE PARTICULAIRE
Abrégé :
(EN) A particulate contamination measurement method and apparatus are discussed. The method, for example, comprises pressing a measurement surface (5) of a polyurethane elastomer (2) against a surface (7) to be measured, removing the polyurethane elastomer from the surface without leaving residues, then using an optical apparatus (11) to detect particles (8) which have been removed by the polyurethane elastomer from the surface and which have become attached to the polyurethane elastomer.
(FR) La présente invention porte sur un procédé et un appareil de mesure de contamination de matière particulaire. Le procédé, par exemple, comprend le pressage d'une surface de mesure (5) d'un élastomère de polyuréthane (2) contre une surface (7) à mesurer, le retrait de l'élastomère de polyuréthane de la surface sans laisser de résidus, puis l'utilisation d'un appareil optique (11) pour détecter des particules (8) qui ont été retirées par l'élastomère de polyuréthane de la surface et qui sont devenues attachées à l'élastomère de polyuréthane.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
EP2834709US20150055127KR1020150013483CN104204954JP6282260JP2015517101