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1. WO2013140102 - DISPOSITIF DE MICROPOSITIONNEMENT A MULTI DEGRES DE LIBERTE POUR ACTIONNEURS PIEZOELECTRIQUES ET PROCEDE ASSOCIE

Numéro de publication WO/2013/140102
Date de publication 26.09.2013
N° de la demande internationale PCT/FR2013/050622
Date du dépôt international 22.03.2013
CIB
H02N 2/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
NMACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
2Machines électriques en général utilisant l'effet piézo-électrique, l'électrostriction ou la magnétostriction
CPC
G01B 7/004
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
004for measuring coordinates of points
G01R 29/22
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
29Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
22Measuring piezo-electric properties
H01L 41/09
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
H01L 41/092
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
0906using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
092with cylindrical or annular shape
H02N 2/062
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
02producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; ; Linear motors
06Drive circuits; Control arrangements ; or methods
062Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. for removing hysteresis
Déposants
  • UNIVERSITE DE FRANCHE COMTE [FR]/[FR]
  • ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DES MICROTECHNIQUES [FR]/[FR]
Inventeurs
  • IVAN, Ioan Alexandru
  • AGNUS, Joël
  • RAKOTONDRABE, Manitrarivo
Mandataires
  • BETHENOD, Marc
Données relatives à la priorité
125255422.03.2012FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) MICROPOSITIONING DEVICE WITH MULTIDEGREES OF FREEDOM FOR PIEZOELECTRIC ACTUATORS AND ASSOCIATED METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MICROPOSITIONNEMENT A MULTI DEGRES DE LIBERTE POUR ACTIONNEURS PIEZOELECTRIQUES ET PROCEDE ASSOCIE
Abrégé
(EN)
The invention relates to a micropositioning device (100) for a piezoelectric actuator (200), the device comprising: means for controlling an electric field applied to said piezoelectric actuator (200) so as to deform the piezoelectric material (201), and means for simultaneous measurement of a variation of electric charge accumulated on the piezoelectric actuator (200) resulting from the deformation; and means for acquiring measurements of the variation of electric charge, for processing these acquisitions and for estimating a displacement (x, y, z) of the piezoelectric actuator (200) and/or an applied force, comprising: a voltage generator connected in parallel to: a divider bridge composed of a first resistor and of a second resistor in series and to a first capacitor connected in series to the piezoelectric actuator, a charge amplifier having a first input connected to a node between the two resistors forming a virtual earth at high floating potential and a second input connected to a node between the first capacitor and the piezoelectric actuator.
(FR)
Un dispositif de micropositionnement (100) d'un actionneur piézoélectrique (200) est divulgué. Le dispositif comprend : des moyens de commande d'un champ électrique appliqué audit actionneur piézoélectrique (200) de sorte à déformer le matériau piézoélectrique (201) et, des moyens de mesure simultanée d'une variation de charge électrique accumulée sur l'actionneur piézoélectrique (200) résultant de la déformation; et des moyens d'acquisition des mesures de la variation de charge électrique, de traitement de ces acquisitions et d'estimation d'un déplacement (x, y, z) de l'actionneur piézoélectrique (200) et/ou d'une force appliquée, comprenant : un générateur de tension connecté en parallèle à : un pont diviseur composé d'une première résistance et d'une seconde résistance en série, et à une première capacité connectée en série à l'actionneur piézo-électrique, un amplificateur de charges ayant une première entrée connectée à un noeud entre les deux résistances formant une masse virtuelle à haut potentiel flottant et une seconde entrée connectée à un noeud entre la première capacité et l'actionneur piézo-électrique.
Également publié en tant que
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