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1. (WO2013077125) PROCÉDÉ D'INSPECTION DES DÉFAUTS ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/077125    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/077234
Date de publication : 30.05.2013 Date de dépôt international : 22.10.2012
CIB :
G01N 21/956 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : HONDA Toshifumi; (JP).
URANO Yuta; (JP).
HATANO Hisashi; (JP)
Mandataire : POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-256483 24.11.2011 JP
Titre (EN) DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE FOR SAME
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION DES DÉFAUTS ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
(JA) 欠陥検査方法およびその装置
Abrégé : front page image
(EN)Defect inspection used in the steps for manufacturing a semiconductor or a similar product, wherein: a detection optical system for detecting reflected and scattered light from the sample is provided with a plurality of detectors; a photon-counting detector having a small number of pixels is applied as a detector for detecting the amount of weak background scattered light; an analog detector or a photon-counting detector having a large number of pixels is applied as a detector for detecting the amount of strong background scattered light; and the non-linearity of the detection intensity of scattered light generated by the application of the photon-counting detector is corrected, and the defect-scattered light detection signal is corrected.
(FR)L'invention concerne un procédé d'inspection des défauts utilisé dans les étapes de fabrication d'un semi-conducteur ou d'un produit similaire, dans lequel : un système de détection optique permettant de détecter la lumière réfléchie et diffusée par l'échantillon est équipé d'une pluralité de détecteurs; un détecteur de comptage des photons ayant un petit nombre de pixels est appliqué comme détecteur pour détecter la quantité de faible lumière diffusée de fond; un détecteur analogique ou un détecteur de comptage des photons ayant un grand nombre de pixels est appliqué comme détecteur pour détecter la quantité de forte lumière diffusée de fond; et la non-linéarité de l'intensité de détection de la lumière diffusée générée par l'application du détecteur de comptage des photons est corrigée, et le signal de détection de lumière diffusée par le défaut est corrigé.
(JA) 半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査において、試料からの反射散乱光を検出する検出光学系に複数の検出器を備え、弱い背景散乱光量を検出する検出器で画素数の少ない光子計数型検出器を適用するとともに、強い背景散乱光量検出する検出器で画素数の多い光子計数型検出器か、あるいはアナログ型の検出器を適用し、更に光子計数型検出器の適用によって発生する散乱光検出強度の非線形性を補正して欠陥散乱光検出信号を補正するようにした。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)