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1. (WO2013076845) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ACTIONNEUR ET ACTIONNEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/076845    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/077069
Date de publication : 30.05.2013 Date de dépôt international : 24.11.2011
CIB :
G02B 26/10 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Déposants : PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Shin-ogura, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120031 (JP) (Tous Sauf US).
PIONEER MICRO TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; No.465 Osato-cho, Kofu-shi, Yamanashi 4000053 (JP) (Tous Sauf US).
TAKAHASHI, Hirokazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIMURA, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SASAKI, Takeshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAKUMA, Noboru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YABE, Tomotaka [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJIMOTO, Kenjiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAKAHASHI, Hirokazu; (JP).
MIMURA, Yasuhiro; (JP).
SASAKI, Takeshi; (JP).
SAKUMA, Noboru; (JP).
YABE, Tomotaka; (JP).
FUJIMOTO, Kenjiro; (JP)
Mandataire : EGAMI, Tatsuo; c/o TOKYO CENTRAL PATENT FIRM, 3rd Floor, Oak Building Kyobashi, 16-10, Kyobashi 1-chome, Chuou-ku, Tokyo 1040031 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ACTUATOR MANUFACTURING METHOD AND ACTUATOR
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ACTIONNEUR ET ACTIONNEUR
(JA) アクチュエータの製造方法及びアクチュエータ
Abrégé : front page image
(EN)A method for manufacturing an actuator equipped with a movable part (120) on which a reflective film (170) is formed, a support part (110) surrounding the movable part (120), and torsion bars (130) connecting the movable part and the support part such that the movable part is capable of oscillating, said method being equipped with: a first step (S106), wherein the movable part, the support part, and the torsion bars are formed on a substrate (201); a second step (S105), wherein the reflective film is formed on the movable part; and a third step (S103), wherein a protruding part (180), which (i) has sufficient height to protrude from the surface of the reflective film and (ii) prevents other structures from making contact with the reflective film, is formed on the side of the movable part on which the reflective film is formed.
(FR)L'invention porte sur un procédé pour fabriquer un actionneur, qui comporte une partie mobile (120) sur laquelle un film réfléchissant (170) est formé, une partie de support (110) entourant la partie mobile (120), et des barres de torsion (130) reliant la partie mobile et la partie de support, de telle sorte que la partie mobile est apte à osciller, lequel procédé comportant : une première étape (S106), dans laquelle la partie mobile, la partie de support et les barres de torsion sont formées sur un substrat (201) ; une deuxième étape (S105), dans laquelle le film réfléchissant est formé sur la partie mobile ; et une troisième étape (S103), dans laquelle une partie saillante (180), qui (i) a une hauteur suffisante pour faire saillie à partir de la surface du film réfléchissant et qui (ii) empêche d'autres structures de venir en contact avec le film réfléchissant, est formée sur le côté de la partie mobile sur lequel est formé le film réfléchissant.
(JA) 反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)