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1. (WO2013076647) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'ARTICLES EN FORME DE TRANCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/076647    N° de la demande internationale :    PCT/IB2012/056563
Date de publication : 30.05.2013 Date de dépôt international : 20.11.2012
CIB :
B08B 3/00 (2006.01), B08B 3/02 (2006.01), B05C 9/06 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/46 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH AG [AT/AT]; SEZ-Strasse 1 9500 Villach (AT).
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, California CA-94538 (US) (BZ only)
Inventeurs : PLAZONIC, Ante; (AT).
AUFEGGER, Christian; (AT).
SCHWARZENBACHER, Reinhold; (AT)
Mandataire : KONTRUS, Gerhard; c/o Lam Research AG SEZ-Strasse 1 9500 Villach (AT)
Données relatives à la priorité :
13/303,518 23.11.2011 US
Titre (EN) DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING WAFER SHAPED ARTICLES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'ARTICLES EN FORME DE TRANCHE
Abrégé : front page image
(EN)A device for processing wafer-shaped articles, comprises a chuck adapted to receive a wafer shaped article and a collector surrounding the chuck. The collector comprises a base and a plurality of divider walls, as well as a plurality of nested partitions surrounding the chuck. Each of the plurality of nested partitions is positioned on a corresponding one of the plurality of divider walls, and each of the plurality of nested partitions is vertically movable so as to define a plurality of separate process regions within the collector depending on the vertical position of each of the plurality of nested partitions. At least one of the divider walls comprises an internal exhaust conduit communicating with an exhaust duct underlying the divider wall.
(FR)Un dispositif de traitement d'articles en forme de tranche comprend un mandrin apte à recevoir un article en forme de tranche ainsi qu'un collecteur entourant le mandrin. Le collecteur comprend une base et une pluralité de parois de séparation, ainsi qu'une pluralité de cloisons emboîtées entourant le mandrin. Chaque cloison de la pluralité de cloisons emboîtées est positionnée sur une paroi correspondante parmi la pluralité de parois de séparation, et chaque cloison de la pluralité de cloisons emboîtées est mobile verticalement de manière à définir une pluralité de zones de traitement séparées au sein du collecteur en fonction de la position verticale de chaque cloison de la pluralité de cloisons emboîtées. Au moins une des parois de séparation comprend un conduit d'échappement interne communiquant avec un conduit d'échappement sous-jacent à la paroi de séparation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)