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1. (WO2013073482) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE TEMPÉRATURE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/073482    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/079175
Date de publication : 23.05.2013 Date de dépôt international : 09.11.2012
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), F04C 29/00 (2006.01), F25B 1/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : SASAKI, Yasuharu; (JP).
MATSUZAKI, Kazuyoshi; (JP)
Mandataire : ITOH, Tadashige; 16th Floor, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Seimei Building), 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-249081 14.11.2011 JP
61/568,181 08.12.2011 US
Titre (EN) TEMPERATURE CONTROL DEVICE, PROCESSING DEVICE, AND TEMPERATURE CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE TEMPÉRATURE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT
(JA) 温度制御装置、処理装置及び温度制御方法
Abrégé : front page image
(EN)A temperature control device (70) comprises the following: a heat exchanger (71) which exchanges heat with the surrounding area using the phase change of a refrigerant; a rotary pump (73) which introduces the refrigerant from the heat exchanger (71) and which fuses the refrigerant to oil inside of the rotary pump; an oil water separator (74) which introduces from the rotary pump (73) the refrigerant that has been fused to the oil and which separates the refrigerant from the oil. The temperature control device has a refrigeration cycle having a cooling function whereby the refrigerant that has been separated from the oil is caused to once again circulate to the heat exchanger (71).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de commande de la température (70) qui comprend les éléments suivants : un échangeur thermique (71) qui échange de la chaleur avec la zone environnante à l'aide du changement d'état d'un réfrigérant; une pompe (73) rotative qui introduit le réfrigérant depuis l'échangeur thermique (71) et qui fond le réfrigérant en huile à l'intérieur de la pompe rotative; un séparateur (74) huile/eau qui introduit, depuis la pompe (73) rotative, le réfrigérant qui a été fondu dans l'huile et qui sépare le réfrigérant de l'huile. Le dispositif de commande de température possède un cycle de réfrigération qui présente une fonction de refroidissement au moyen de laquelle le réfrigérant, qui a été séparé de l'huile, est amené une fois de plus à circuler vers l'échangeur thermique (71).
(JA) 冷媒の相変化により周囲と熱交換する熱交換部71と、冷媒を熱交換部71から流入し、内部の油と融合させるロータリーポンプ73と、油に融合された冷媒をロータリーポンプ73から流入し、油と分離させる油水分離機74と、を備え、油と分離された冷媒を再び熱交換部71に循環させることにより冷却機能を有する冷凍サイクルを構成する温度制御装置70が提供される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)