WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2013071950) PLAQUE ARRIÈRE DE MEMS, MICROPHONE MEMS COMPRENANT UNE PLAQUE ARRIÈRE DE MEMS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN MICROPHONE MEMS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/071950    N° de la demande internationale :    PCT/EP2011/070067
Date de publication : 23.05.2013 Date de dépôt international : 14.11.2011
CIB :
H04R 19/00 (2006.01)
Déposants : EPCOS AG [DE/DE]; St.-Martin-Straße 53 81669 München (DE) (Tous Sauf US).
JOHANSEN, Leif Steen [DK/DK]; (DK) (US Seulement).
RAVNKILDE, Jan Tue [DK/DK]; (DK) (US Seulement).
ROMBACH, Pirmin [DE/DK]; (DK) (US Seulement).
RASMUSSEN, Kurt [DK/DK]; (DK) (US Seulement).
MORTENSEN, Dennis [DK/DK]; (DK) (US Seulement)
Inventeurs : JOHANSEN, Leif Steen; (DK).
RAVNKILDE, Jan Tue; (DK).
ROMBACH, Pirmin; (DK).
RASMUSSEN, Kurt; (DK).
MORTENSEN, Dennis; (DK)
Mandataire : EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schlossschmidstr. 5 80639 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) MEMS BACKPLATE, MEMS MICROPHONE COMPRISING A MEMS BACKPLATE AND METHOD FOR MANUFACTURING A MEMS MICROPHONE
(FR) PLAQUE ARRIÈRE DE MEMS, MICROPHONE MEMS COMPRENANT UNE PLAQUE ARRIÈRE DE MEMS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN MICROPHONE MEMS
Abrégé : front page image
(EN)A MEMS backplate enabling MEMS microphones with reduced parasitic capacitance is provided. Therefore, the backplate comprises apertures in a suspension area.
(FR)L'invention concerne une plaque arrière de MEMS permettant d'obtenir des microphones MEMS à capacité parasite réduite. En conséquence, la plaque arrière comprend des orifices formés dans une zone de suspension.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)