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1. (WO2013070871) SYSTÈME À ENCODEUR INTERFÉROMÉTRIQUE À DOUBLE PASSAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/070871    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/064086
Date de publication : 16.05.2013 Date de dépôt international : 08.11.2012
CIB :
G01D 5/38 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01)
Déposants : ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, Connecticut 06455-0448 (US)
Inventeurs : DE GROOT, Peter; (US).
LIESENER, Jan; (US)
Mandataire : VALENTINO, Joseph; Fish & Richardson P.C. P.O. Box 1022 Minneapolis, Minnesota 55440-1022 (US)
Données relatives à la priorité :
61/557,755 09.11.2011 US
Titre (EN) DOUBLE PASS INTERFEROMETRIC ENCODER SYSTEM
(FR) SYSTÈME À ENCODEUR INTERFÉROMÉTRIQUE À DOUBLE PASSAGE
Abrégé : front page image
(EN)An encoder head includes one or more components arranged to: i) direct a first incident beam to the diffractive encoder scale at a first incident angle with respect to the encoder scale; ii) receive a first return beam from the encoder scale at a first return angle, the first return angle being different from the first incident angle; iii) redirect the first return beam to the encoder scale as a second incident beam at a second incident angle; and iv) receive a second return beam back from the encoder scale at a second return angle, the second return angle being different from the second incident angle, in which a difference between the first incident angle and second incident angle is less than a difference between the first incident angle and the first return angle and less than a difference between the second incident angle and the second return angle.
(FR)La présente invention concerne une tête d'encodeur comprenant un ou plusieurs composants conçus pour : i) diriger un premier faisceau incident sur une échelle diffractive d'encodeur à un premier angle d'incidence par rapport à l'échelle d'encodeur ; ii) recevoir un premier faisceau de retour provenant de l'échelle d'encodeur à un premier angle de retour, le premier angle de retour étant différent du premier angle d'incidence ; iii) rediriger le premier faisceau de retour vers l'échelle d'encodeur en tant que second faisceau incident à un second angle d'incidence ; et iv) recevoir en retour un second faisceau de retour provenant de l'échelle d'encodeur à un second angle de retour, le second angle de retour étant différent du second angle d'incidence. Une différence entre le premier angle d'incidence et le second angle d'incidence est inférieure à une différence entre le premier angle d'incidence et le premier angle de retour et inférieure à une différence entre le second angle d'incidence et le second angle de retour.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)