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1. (WO2013070438) CARACTÉRISTIQUES DE DISTRIBUTION DE PRÉCURSEURS POUR UNE UNIFORMITÉ DE DÉPÔT AMÉLIORÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/070438    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/061732
Date de publication : 16.05.2013 Date de dépôt international : 24.10.2012
CIB :
H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : PARK, Soonam; (US).
HINCKLEY, Kimberly; (US).
LIANG, Qiwei; (US).
YANG, Jang-Gyoo; (US)
Mandataire : BERNARD, Eugene, J.; Kilpatrick Townsend & Stockton LLP Two Embarcadero Center, 8th Floor San Francisco, CA 94111 (US)
Données relatives à la priorité :
61/557,271 08.11.2011 US
Titre (EN) PRECURSOR DISTRIBUTION FEATURES FOR IMPROVED DEPOSITION UNIFORMITY
(FR) CARACTÉRISTIQUES DE DISTRIBUTION DE PRÉCURSEURS POUR UNE UNIFORMITÉ DE DÉPÔT AMÉLIORÉE
Abrégé : front page image
(EN)Showerheads are described including a first plurality of apertures through which a first fluid may be distributed to a processing region of a semiconductor substrate processing chamber. The first plurality of apertures may include a first set of apertures and a second set of apertures, and the first set of apertures may have an aperture diameter that is greater than the aperture diameter of the second set of apertures. The showerheads may also have a second plurality of apertures through which a second fluid may be distributed to the processing region of the substrate processing chamber. The first and second fluids may also be fluidly isolated prior to their distribution to the processing region.
(FR)La présente invention concerne des pommeaux de douche comprenant une première pluralité d'ouvertures à travers lesquelles un premier fluide peut être distribué vers une région de traitement d'une chambre de traitement de substrat semi-conducteur. La première pluralité d'ouvertures peut comprendre un premier ensemble d'ouvertures et un second ensemble d'ouvertures, et le premier ensemble d'ouvertures peut posséder un diamètre d'ouverture supérieur à celui du second ensemble d'ouvertures. Les pommeaux de douche peuvent également comporter une seconde pluralité d'ouvertures à travers lesquelles un second fluide peut être distribué vers la région de traitement de la chambre de traitement de substrat. Les premier et second fluides peuvent également être isolés de façon fluidique avant leur distribution vers la région de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)