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1. (WO2013069722) APPAREIL DE POSITIONNEMENT D'ÉCHANTILLON, PLATINE PORTE-ÉCHANTILLON ET APPAREIL À FAISCEAU À PARTICULES CHARGÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/069722    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/078948
Date de publication : 16.05.2013 Date de dépôt international : 08.11.2012
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : TAKAHASHI Motohiro; (JP).
OGAWA Hironori; (JP).
SHIBATA Nobuo; (JP).
MIZUOCHI Masaki; (JP).
NAKAGAWA Shuichi; (JP).
TSUJI Hiroshi; (JP)
Mandataire : HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-245064 09.11.2011 JP
Titre (EN) SAMPLE POSITIONING APPARATUS, SAMPLE STAGE, AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) APPAREIL DE POSITIONNEMENT D'ÉCHANTILLON, PLATINE PORTE-ÉCHANTILLON ET APPAREIL À FAISCEAU À PARTICULES CHARGÉES
(JA) 試料位置決め装置、試料ステージ、荷電粒子線装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a sample positioning technology wherein micro-vibrations of a top table on which a sample is placed are suppressed such that the quality of an image to be observed or the precision of a measured dimension value can be improved. A sample positioning apparatus according to the present invention is provided with an active brake for stopping the top table, an inner frame which surrounds the active brake, an outer frame which surrounds the inner frame, and actuators for driving the active brake. The actuators, after driving the active brake to stop the top table with respect to a stage, press the outer frame to adjust the position of the top table.
(FR)L'invention porte sur une technologie de positionnement d'échantillon, dans laquelle technologie des micro-vibrations d'une table supérieure sur laquelle est disposé un échantillon sont supprimées, de telle sorte que la qualité d'une image à observer ou la précision d'une valeur de dimension mesurée peut être améliorée. Un appareil de positionnement d'échantillon selon la présente invention comporte un frein actif pour arrêter la table supérieure, un cadre interne qui entoure le frein actif, un cadre externe qui entoure le cadre interne et des actionneurs pour actionner le frein actif. Les actionneurs, après l'entraînement du frein actif pour arrêter la table supérieure par rapport à une platine, pressent le cadre externe de façon à régler la position de la table supérieure.
(JA) 試料を搭載するトップテーブルの微小振動を抑えて観察像の像質あるいは寸法測定値の精度を向上させることができる試料位置決め技術を提供する。 本発明に係る試料位置決め装置は、トップテーブルを停止させるアクティブブレーキ、アクティブブレーキを囲む内枠、内枠を囲む外枠、およびアクティブブレーキを駆動するアクチュエータを備える。アクチュエータは、アクティブブレーキを駆動してトップテーブルをステージに対して停止させた後、外枠を押圧してトップテーブルの位置を調整する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)