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1. (WO2013067307) SYSTÈME DE MANIPULATION DE PIÈCE À TRAVAILLER ET PROCÉDÉS DE MANIPULATION DE PIÈCES À TRAVAILLER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/067307    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/063250
Date de publication : 10.05.2013 Date de dépôt international : 02.11.2012
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US).
SCHALLER, Jason, M. [US/US]; (US) (US only).
VOPAT, Robert, Brent [US/US]; (US).
CARLSON, Charles, T. [US/US]; (US).
DANIEL, Malcolm [US/US]; (US) (US only).
WEBB, Aaron, P. [US/US]; (US).
WEAVER, William, T. [US/US]; (US)
Inventeurs : SCHALLER, Jason, M.; (US).
VOPAT, Robert, Brent; (US).
CARLSON, Charles, T.; (US).
DANIEL, Malcolm; (US).
WEBB, Aaron, P.; (US).
WEAVER, William, T.; (US)
Mandataire : FABER, Scott, R.; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US)
Données relatives à la priorité :
61/554,715 02.11.2011 US
13/658,512 23.10.2012 US
Titre (EN) WORKPIECE HANDLING SYSTEM AND METHODS OF WORKPIECE HANDLING
(FR) SYSTÈME DE MANIPULATION DE PIÈCE À TRAVAILLER ET PROCÉDÉS DE MANIPULATION DE PIÈCES À TRAVAILLER
Abrégé : front page image
(EN)One embodiment of this workpiece handling system has conveyor belts and a load lock. A first swap robot holds and transports workpieces between a build station and the load lock. A gantry robot transports the workpieces between each of the conveyor belts and the first swap robot. In one instance, processed workpieces are transported from the first swap robot to a first conveyor belt and unprocessed workpieces are transported from a second conveyor belt to the first swap robot using the gantry robot. A second swap robot also may be used with the first swap robot to load and unload workpieces from the load lock.
(FR)La présente invention se rapporte, dans un mode de réalisation, à un système de manipulation de pièce à travailler qui comprend des bandes transporteuses et un dispositif de verrouillage de charge. Un premier robot de transfert supporte et transporte des pièces à travailler entre un poste de construction et le dispositif de verrouillage de charge. Un robot portique transporte les pièces à travailler entre chaque bande transporteuse et le premier robot de transfert. Selon un mode de réalisation, les pièces traitées sont transportées du premier robot de transfert à une première bande transporteuse et les pièces non traitées sont transportées d'une seconde bande transporteuse au premier robot de transfert à l'aide du robot portique. Un second robot de transfert peut également être utilisé avec le premier robot de transfert pour charger les pièces à travailler sur le dispositif de verrouillage de charge et les décharger de ce dernier.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)