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1. (WO2013064632) COMPOSANT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/064632    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/071721
Date de publication : 10.05.2013 Date de dépôt international : 02.11.2012
CIB :
G01P 15/08 (2006.01)
Déposants : CONTINENTAL TEVES AG & CO. OHG [DE/DE]; Guerickestraße 7 60488 Frankfurt (DE)
Inventeurs : GÜNTHNER, Stefan; (DE).
SCHMID, Bernhard; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2011 085 723.0 03.11.2011 DE
Titre (DE) BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUELEMENTS
(EN) COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING A COMPONENT
(FR) COMPOSANT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Bauelement und ein Verfahren zur Herstellung eines Bauelements. Das Bauelement weist ein Substrat (100) auf mit einer ersten Kavität (112) und einer zweiten Kavität (113), wobei in der ersten Kavität (112) eine erste mikromechanische Struktur (117) angeordnet ist und in der zweiten Kavität (113) eine zweite mikromechanische Struktur (118) angeordnet ist. Ferner weist die erste Kavität (112) einen ersten Gasdruck auf und die zweite Kavität (113) einen zweiten Gasdruck auf. Hierbei wird der erste Gasdruck durch Verschluss der ersten Kavität (112) bereitgestellt, wobei ein erster Kanal (115) in die zweite Kavität (113) mündet und der zweite Gasdruck über den ersten Kanal (115) einstellbar ist, wobei der zweite Gasdruck unterschiedlich vom ersten Gasdruck ist.
(EN)The invention relates to a component and to a method for producing a component. The component has a substrate (100) having a first cavity (112) and a second cavity (113), wherein a first micromechanical structure (117) is arranged in the first cavity (112) and a second micromechanical structure (118) is arranged in the second cavity (113). The first cavity (112) also has a first gas pressure and the second cavity (113) has a second gas pressure. In this case, the first gas pressure is provided by closing the first cavity (112), wherein a first channel (115) opens into the second cavity (113) and the second gas pressure can be adjusted via the first channel (115), wherein the second gas pressure is different from the first gas pressure.
(FR)La présente invention concerne un composant et un procédé de fabrication d'un composant. Ledit composant comprend un substrat (100) pourvu d'une première cavité (112) et d'une deuxième cavité (113), une première structure micromécanique (117) étant placée dans la première cavité (112) et une deuxième structure micromécanique (118) étant placée dans la deuxième cavité (113). En outre, la première cavité (112) présente une première pression de gaz et la deuxième cavité (113) une deuxième pression de gaz. La fermeture de la première cavité (112) produit la première pression de gaz, un premier canal (115) débouche dans la deuxième cavité (113) et la deuxième pression de gaz est réglable par le biais du premier canal (115), la deuxième pression de gaz étant différente de la première pression de gaz.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)