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1. (WO2013063234) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DIAGNOSTIC DE CARACTÉRISATION D'UN FAISCEAU NEUTRE ET COMMANDE DE TRAITEMENT AVEC CEUX-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/063234    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/061862
Date de publication : 02.05.2013 Date de dépôt international : 25.10.2012
CIB :
H01L 21/44 (2006.01)
Déposants : EXOGENESIS CORPORATION [US/US]; 20 Fortune Drive Billerica, Massachusetts 01821 (US).
KIRKPATRICK, Sean, R. [US/US]; (US) (US only).
KIRKPATRICK, Allen, R. [US/US]; (US) (US only)
Inventeurs : KIRKPATRICK, Sean, R.; (US).
KIRKPATRICK, Allen, R.; (US)
Mandataire : COHEN, Jerry; Burns & Levinson, LLP 125 Summer Street Boston, Massachusetts 02110 (US)
Données relatives à la priorité :
61/551,552 26.10.2011 US
Titre (EN) DIAGNOSTIC METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZATION OF A NEUTRAL BEAM AND FOR PROCESS CONTROL THEREWITH
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DIAGNOSTIC DE CARACTÉRISATION D'UN FAISCEAU NEUTRE ET COMMANDE DE TRAITEMENT AVEC CEUX-CI
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus and method for characterizing a particle beam provides receiving a particle beam in a central region of a reduced pressure enclosure; impacting the received beam against a beam strike that is thermally isolated from the enclosure; measuring a temperature change of the beam strike due to the impacting beam; measuring a pressure change in the enclosure due to receiving the beam; and processing the measured temperature change and the measured pressure change to determine beam characteristics.
(FR)L'invention porte sur un appareil et sur un procédé de caractérisation d'un faisceau de particules qui permettent la réception d'un faisceau de particules dans une région centrale d'une enceinte à pression réduite ; l'impact du faisceau reçu contre un élément de frappe de faisceau qui est thermiquement isolé de l'enceinte ; la mesure d'un changement de température de l'élément de frappe de faisceau provoqué par le faisceau percutant ; la mesure d'un changement de pression dans l'enceinte du fait de la réception du faisceau ; le traitement du changement de température et du changement de pression mesurés pour déterminer des caractéristiques du faisceau.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)