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1. (WO2013059591) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR OBTENIR UN ÉCOULEMENT DE GAZ UNIFORME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/059591    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/061022
Date de publication : 25.04.2013 Date de dépôt international : 19.10.2012
CIB :
H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
YUDOVSKY, Joseph [US/US]; (US) (US only).
CHANG, Mei [US/US]; (US) (US only).
GUNGOR, Faruk [TR/US]; (US) (US only).
MA, Paul F. [US/US]; (US) (US only).
CHU, David [US/US]; (US) (US only).
KAO, Chien-Teh [US/US]; (US) (US only).
LAM, Hyman [US/US]; (US) (US only).
WU, Dien-Yeh [--/US]; (US) (US only)
Inventeurs : YUDOVSKY, Joseph; (US).
CHANG, Mei; (US).
GUNGOR, Faruk; (US).
MA, Paul F.; (US).
CHU, David; (US).
KAO, Chien-Teh; (US).
LAM, Hyman; (US).
WU, Dien-Yeh; (US)
Mandataire : BLANKMAN, Jeffrey I.; Diehl Servilla LLC 33 Wood Avenue South Second Floor, Suite 210 Iselin, New Jersey 08830 (US)
Données relatives à la priorité :
61/548,942 19.10.2011 US
13/653,952 17.10.2012 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING UNIFORM FLOW OF GAS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR OBTENIR UN ÉCOULEMENT DE GAZ UNIFORME
Abrégé : front page image
(EN)Provided are gas distribution apparatus with a delivery channel having an inlet end, an outlet end and a plurality of apertures spaced along the length. The inlet end is connectable to an inlet gas source and the outlet end is connectible with a vacuum source. Also provided are gas distribution apparatus with spiral delivery channels, intertwined spiral delivery channels, splitting delivery channels, merging delivery channels and shaped delivery channels in which an inlet end and outlet end are configured for rapid exchange of gas within the delivery channels.
(FR)L'invention porte sur un appareil de distribution de gaz qui présente un canal de distribution ayant une extrémité d'entrée, une extrémité de sortie et une pluralité d'ouvertures espacées le long de la longueur. L'extrémité d'entrée peut être reliée à une source de gaz d'entrée et l'extrémité de sortie peut être reliée à une source de vide. L'invention porte également sur un appareil de distribution de gaz dont les canaux de distribution sont en spirale, en spirale entremêlée, à division, à réunion et formés de telle sorte qu'une extrémité d'entrée et une extrémité de sortie sont configurées pour un échange de gaz rapide à l'intérieur des canaux de distribution.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)