WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2013059590) JOINT DE BORD DESTINÉ À UN ENSEMBLE ÉLECTRODE INFÉRIEURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/059590    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/061020
Date de publication : 25.04.2013 Date de dépôt international : 19.10.2012
CIB :
H01L 23/12 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538-6470 (US)
Inventeurs : SCHAEFER, David; (US).
CHHATRE, Ambarish; (US).
GAFF, Keith William; (US).
LAI, Brooke Mesler; (US).
LEE, Sung; (US)
Mandataire : SKIFF, Peter K.; Buchanan Ingersoll & Rooney PC P.O. Box 1404 Alexandria, VA 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
13/277,873 20.10.2011 US
13/528,194 20.06.2012 US
Titre (EN) EDGE SEAL FOR LOWER ELECTRODE ASSEMBLY
(FR) JOINT DE BORD DESTINÉ À UN ENSEMBLE ÉLECTRODE INFÉRIEURE
Abrégé : front page image
(EN)A lower electrode assembly useful for supporting a semiconductor substrate in a plasma processing chamber includes a temperature controlled lower base plate, an upper plate, a mounting groove surrounding a bond layer and an edge seal comprising an elastomeric band having an outer concave surface in an uncompressed state, the band mounted in the groove such that upper and lower ends of the band are axially compressed and a maximum outward bulging of the band is no greater than a predetermined distance.
(FR)La présente invention a trait à un ensemble électrode inférieure qui est utile afin de supporter un substrat semi-conducteur dans une chambre de traitement au plasma, lequel ensemble électrode inférieure inclut une plaque de base inférieure à régulation de température, une plaque supérieure, une rainure de montage qui entoure une couche de liaison et un joint de bord qui comprend une bande élastomère qui est dotée d'une surface concave extérieure dans un état non comprimé, la bande étant montée dans la rainure de sorte que les extrémités supérieure et inférieure de la bande sont axialement comprimées et le gonflement vers l'extérieur maximal de la bande n'est pas supérieur à une distance prédéterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)