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1. (WO2013058557) DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/058557    N° de la demande internationale :    PCT/KR2012/008504
Date de publication : 25.04.2013 Date de dépôt international : 18.10.2012
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01)
Déposants : TERASEMICON CORPORATION [KR/KR]; 267-24 Gyeonggidong-ro Dongtan-myeon Hwaseong-si Gyeonggi-do 445-812 (KR)
Inventeurs : LEE, Eun Ho; (KR).
OH, Hong Lok; (KR).
KO, Jin Yeong; (KR)
Mandataire : SU INTELLECTUAL PROPERTY; 2F 523 Nonhyeon-ro Gangnam-gu Seoul 135-909 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2011-0106296 18.10.2011 KR
Titre (EN) SUBSTRATE ALIGNMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE SUBSTRAT
(KO) 기판정렬장치
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a substrate alignment device. A substrate alignment device according to the present invention includes a means for detecting whether an edge part of a substrate is loaded on and supported by support pins when the substrate is inputted into a main body and loaded on and supported by the support pins, and thus when the substrate is moved and aligned, the substrate or the support pins can be effectively prevented from being damaged.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif d'alignement de substrat. Un dispositif d'alignement de substrat selon la présente invention comprend un moyen de détection si une partie de bord d'un substrat est chargée sur et supportée par des broches de support lorsque le substrat est mis en entrée dans un corps principal et chargé sur et supporté par les broches de support, et ainsi lorsque le support est déplacé et aligné, on peut empêcher de manière efficace le substrat ou les broches de support d'être endommagés.
(KO)기판정렬장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판정렬장치는, 기판이 본체에 투입되어 지지핀에 탑재 지지되었을 때, 기판의 테두리부측 부위가 지지핀에 탑재 지지되었는가를 감지하는 수단이 마련되므로, 기판을 이동시켜 정렬할 때, 기판 또는 지지핀이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)