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1. (WO2013058487) APPAREIL DE FINITION ET PROCÉDÉ UTILISANT UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ET UN FAISCEAU D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/058487    N° de la demande internationale :    PCT/KR2012/008031
Date de publication : 25.04.2013 Date de dépôt international : 04.10.2012
CIB :
B23K 15/00 (2006.01)
Déposants : KOREA INSTITIUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY [KR/KR]; 35-3 Hongcheon-Ri, Ipchang-Myun, Seobuk-gu Cheonan-si, Chungcheongnam-do 331-825 (KR)
Inventeurs : KANG, Eun Goo; (KR).
LEE, Seok Woo; (KR).
CHOI, Young Jae; (KR).
LEE, Dong Yoon; (KR)
Mandataire : KO, Young Kap; #809 MS Plaza, 21-1 Sunae-dong, Bundang-gu Seongnam-si, Gyeonggi-do 463-825 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2011-0107953 21.10.2011 KR
Titre (EN) FINISHING APPARATUS AND METHOD USING AN ELECTRON BEAM AND AN ION BEAM
(FR) APPAREIL DE FINITION ET PROCÉDÉ UTILISANT UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ET UN FAISCEAU D'IONS
(KO) 전자빔 및 이온빔을 이용한 피니싱 장치 및 방법
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a finishing apparatus and method using an electron beam and an ion beam. In more detail, the finishing apparatus according to the present invention includes: a stage on which an object to be processed is disposed; a chamber surrounding the stage and having a vacuum state therein; an electron beam generation device disposed at a side of the chamber to emit an electron beam onto the object to be processed; and an ion beam generating device that emits an ion beam onto the object to be processed onto which the electron beam is emitted to process a surface of the object to be processed.
(FR)La présente invention concerne un appareil de finition et un procédé utilisant un faisceau d'électrons et un faisceau d'ions. Plus en détail, l'appareil de finition selon la présente invention comprend : un étage dans lequel un objet à traiter est disposé ; une chambre entourant l'étage et ayant un état de vide dans celle-ci ; un dispositif de génération de faisceau d'électrons disposé à un côté de la chambre pour émettre un faisceau d'électrons sur l'objet à traiter ; et un dispositif de génération de faisceau d'ions qui émet un faisceau d'ions sur l'objet à traiter sur lequel le faisceau d'électrons est émis pour traiter une surface de l'objet à traiter.
(KO)본 발명은 전자 및 이온빔을 이용한 피니싱 장치 및 피니싱 방법에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 피처리물이 배치되는 스테이지; 상기 스테이지를 감싸며, 내부가 진공상태를 유지하는 챔버; 상기 챔버 일측에 배치되어 상기 피처리물에 전자빔을 조사하는 전자빔 발생장치; 상기 전자빔이 조사된 상기 피처리물에 이온빔을 조사하여 표면처리하는 이온빔 발생장치를 포함하는 피니싱 장치를 제공한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)